中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9289668 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 105は、高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクおよびウェハ品質の欠陥監視および評価を提供できる完全な検査ソリューションであるように設計されています。精密検査モジュールを使用して、設計イメージデータと広範な複数の欠陥解析フィルタをキャプチャし、これまで以上に迅速かつ正確に欠陥を識別および分類します。さらに、AUGUST NSX-105には、包括的な分析とレポート機能を提供するための高度な欠陥特性評価ツールが含まれています。RUDOLPH NSX 105は、1時間あたり最大10,000枚のマスクとウェーハ画像を検査できる独自の光ファイバー設計を採用しています。この検査ユニットは、3メガピクセルの解像度を誇り、設計の詳細を3 µmまで小さくキャプチャすることができます。これにより、効率的な視覚検査に不可欠な超高速の欠陥検出と分類が可能になります。RUDOLPH NSX-105は、パターン破損、汚染物質、パーティクルインクルージョン、金属蓄積、エッジ欠陥などの一般的な欠陥の自動検出と分類を可能にする画像処理フィルタのホストを備えています。パターンブレークフィルタは、元のマスクのデザインと一致しないパターンが認識され、レポートされることを確認します。さらに、金属蓄積フィルタは、期待されるピッチ幅とは異なる金属特性を検出します。これにより誤検出がなくなり、オペレータが真の欠陥を識別しやすくなります。AUGH NSX 105は、高度な欠陥特性評価ツールも提供しており、オペレータはこれまで以上に欠陥を正確に識別および分類することができます。これらのツールは、光学顕微鏡と偏光顕微鏡システムを使用して、欠陥の種類とサイズ、およびその知覚起源を決定します。これは、オペレータが真の欠陥と偽陽性を区別し、一般的な汚染と深刻な欠陥を分離するのに役立ちます。最後に、NSX 105にはオプションの画像キャプチャおよび解析ソフトウェアモジュールが含まれており、オペレータは画像を保存して後で分析することができます。この機能により、エンジニアはオフサイトまたは必要に応じてリモートで画像をレビューすることができます。NSX 105は、オペレータに最も包括的で正確な欠陥解析機能を提供するように設計された高度なマスクおよびウェハ検査機です。精密検査モジュールと高度な欠陥特性評価ツールを活用し、高品質な製品を確実に生産するための包括的な情報を提供することができます。