中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9274495 を販売中
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ID: 9274495
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Automated defect inspection system, 8"
(2) Load ports, 6"-8"
BROOKS (Robot and aligner)
Wafer stage, 12"
(5) Optic lens
With CCD 3D camera (SONY)
2003 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105は、効率的で高精度なウェーハ、基板、およびレチクル検査および計測用に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、光学アライメントキャリブレーション、マルチセンサーモニタリング、高解像度イメージングなどの高度な機能を備えています。AUGTH NSX-105は使いやすさのために設計された直感的なプラットフォームです。ウェーハおよびマスク検査のパラメータ設定を提供し、ユーザーがプロセスを最適化することができます。このユニットはまた、選択可能なグラフ出力オプションの範囲を提供しており、ユーザーはさまざまな形式で結果をエクスポートすることができます。マルチセンサモニタリング機能により、検査精度と歩留まりを向上させる最適な前面露光条件を保証します。また、アルゴリズムベースの欠陥検出機能を搭載し、フルチップとパーシャルチップの両方の画像で正確な欠陥検出を可能にします。このツールは6つのメガピクセル光学センサを備えており、高精度の光学アライメント校正と高画質を提供します。アセットの画像処理能力は、従来の計測機器よりも大幅に優れたイメージング性能と精度を提供する高品位の光学系およびセンサーを使用することで強化されています。モデルのファインダーとライブイメージ機能により、オペレータはウェーハ構造のリアルタイム画像を取得し、ユーザーが問題を迅速に分析および修正するのを支援することができます。装置の前例のない正確さおよび機能は複数の点検プロフィールを貯えるシステムの機能によってさらに補完されます。これにより、異なる検査プロファイルとパラメータをすばやく切り替えることができます。このユニットは、自動計測機能の完全なスイートも備えているため、ユーザーは重要な構造部品を簡単に測定することができます。RUDOLPH NSX 105は、詳細なウェーハおよびマスク検査および計測に最適なマシンです。シングルビューからマルチビューインタラクションまで、幅広いアプリケーション要件に適しており、最先端の分析プロジェクトの要求に費用対効果の高いソリューションを提供します。このツールは、堅牢な機能、高度な機能、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、半導体業界の要件を満たすために不可欠です。NSX 105アセットは、高度な機能と機能を備えており、ウェーハおよびレチクル検査において比類のない精度、速度、精度を提供します。
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