中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9230604 を販売中

RUDOLPH/AUGUST NSX 105は、マスク上の誤ったウェハ配置によるエラーのリスクを低減するために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。深紫外線（DUV）光学顕微鏡と高解像度CCDカメラの機能を組み合わせ、優れた検査精度と再現性を提供します。ウェーハとマスクが正しく配置されていることを確認するために、AUGH NSX-105は、10メガピクセルのLED照明付きCCDカメラを使用して、誤った配置によるウェーハ表面のエラー、歪み、影を識別しながら、ウェーハの表面を検査します。高解像度カメラは、最大2048ピクセルの詳細画像を生成し、0。5ミクロンの画素解像度で高精度な画像処理を実現します。RUDOLPH NSX 105はまた、結果のリアルタイム表示を含むマスクとウェーハのデータ分析を行う高度なソフトウェアと制御システムを備えています。アンダーエッチングおよびオーバーエッチング領域、マイクロパターン、不適切なマスクオーバーレイなど、幅広い欠陥を検出するようにプログラムできます。さらに、高度な機能抽出技術により、マスクとウェーハを区別することができ、最適な性能を達成するために調整が必要なパターンを迅速に特定することができます。NSX-105はまた、自動マスクおよびウェーハ洗浄機能の範囲を提供します。機械、化学、真空の技術を組み合わせて、マスクやウェーハからほこり、汚染物質、粒子を除去し、検査プロセスを迅速かつ確実に完了できるようにします。RUDOLPH/AUGUST NSX 105は、複数の入出力信号、照明による幾何学的な歪みの問題を解消する自動補償、オペレータの疲労を軽減し、検査を改善する人間工学に基づいた設計など、さまざまな高度な機能と制御機能を備えています。このマシンは、生産および研究環境での使用に適しており、最新のグラフィックスソフトウェアと互換性があります。NSX 105は、精度、再現性、速度に優れた高度なマスクおよびウェーハ検査ツールです。高解像度カメラ、強力なソフトウェア、自動化されたクリーニング機能により、オペレータはコストがかかる前に問題を迅速かつ正確に特定して対処できます。