中古 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9191496 を販売中
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ID: 9191496
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Inspection system, 8"
(2) Load ports, 6"-8"
BROOKS AUTOMATION Robot and aligner
Wafer stage, 12"
(5) Optic lens with SONY CCD 3D camera
2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105は高速マスク&ウェーハ検査装置です。半導体ウェーハやフォトマスク基板の粒子や傷などの欠陥を検出するシステムです。高度なマシンビジョンユニットで、傷だけでなく、10ミクロンまでの粒子の全自動検出と分析を提供します。機械は粒子カウントのアルゴリズムと粒子および他の汚染物の存在を検出するのに使用されるフルフィールドの分極されたストロボの軽いイメージ投射を使用して作動します。このツールは、半透明の粒子や非常に広い領域での不均一な汚染領域を検出することができ、ウェーハの広い領域を一度に検査するのに理想的です。これは、検査者が検査の進捗を追跡することができます統合された独自の追跡モデルを持っています。RudyAUGTH NSX-105には、高解像度のカラーカメラと最先端の光学系が含まれています。カメラはラインスキャンとエリアスキャンの両方の形式で構成することができ、オペレータは特定のアプリケーションに最適な画質に機器を調整することができます。このシステムには、目視検査、統計分析などの目的で構成できるカスタム画像処理ソフトウェアも含まれています。このユニットは、サンプルホルダー、液体分散器、テンショナーユニットなど、多くのアクセサリーと連携して動作します。サンプルホルダーは、サンプルのカメラへのプレゼンテーションを容易にし、正確な焦点を決定することができます。液体分散器ユニットは、サンプルに乾燥または液体湿潤化学をスプレーするために使用され、テンショナーユニットは、傷を検出するためにサンプル表面に張力を正確に適用するために使用することができます。検査結果はハードドライブに保存されます。結果は、将来の参照のために分析、印刷、および保存することができます。RudyRUDOLPH NSX 105は、半導体業界の多くのメーカーから欠陥を検出するために信頼されている信頼性の高い高品質のマシンです。このツールは、高度なマスキングおよびウェハ検査機能を備えており、半導体基板の潜在的な問題を迅速かつ正確に特定する強力なツールを提供します。
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