中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9401136 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、マイクロエレクトロニクス業界におけるプロセス制御の厳しい要件を満たすように設計された包括的なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、プロパティ測定機能と高度なプロセス制御機能を備えた完全な自動化を提供します。このユニットは、4AUGUST AXI-S、精密XYステージ、組み込みビジョンマシンの2つの主要部品で構成されています。4RUDOLPH AXI-S、精密XYステージは、高速移動を実現するためにリニアモータを使用し、0。1 μ mの解像度でX、 Y、 Z方向のオブジェクトを正確に移動することができます。また、ロボットアームが内蔵されており、最大速度は1mm/s、力容量は1,500Nです。エンベデッドビジョンツールは、最新のインテリジェント画像認識技術を使用しており、マルチフラッシュ画像処理を同時に行うことができます。広い視野を提供し、最も困難な欠陥やパターンを検出することができます。このアセットは、薄い、厚い、超薄いフェーズを含むすべてのタイプのマスクおよびウェーハに対して正確で信頼性の高い測定データを提供します。測定されたデータは、統計的傾向分析とプロセス最適化のためにさらに処理されます。このモデルはまた、リアルタイムの画像表示とマルチステップ操作のためのユーザーフレンドリーなGUIを提供するように設計された包括的なソフトウェアを提供しています。ライブイメージのキャプチャ、画像操作、画像分析および分析をサポートします。ソフトウェアは、さまざまな複雑な操作でプロセス制御を可能にします。この装置はまた、既存のシステムと統合する柔軟性を提供します。さらに、NIST同期、OCRパターン認識、デュアルチャネルアラーム、PLC制御などの高度な機能を備えています。これらのすべての機能により、ユーザーはシステムのパフォーマンスを監視およびカスタマイズできます。AXI-Sは、最高の生産要件を満たすように設計された、費用対効果の高い汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査ユニットです。これは、さまざまな複雑な操作で信頼性の高い正確な測定データとプロセス制御を提供します。この機械は大量のマイクロエレクトロニクスの生産のための完全な解決です。