中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9350862 を販売中

ID: 9350862
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Wafer inspection system, 12" 2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-Sマスクおよびウェーハ検査装置は、フォトマスク、30x30 mmウェーハの課題、およびその他の小さな部品の自動プロセス制御用に設計された高度な自動検査システムです。このユニットは、ケーシング、光学システム、コントローラ、画像処理ユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。AUGH AXI-Sマスクとウェーハ検査機のケーシングは、簡単な操作のために設計されています。それは大きい、人間工学的に設計されていた仕事の表面、2つのコントローラーの表示および点検された部品の処理を容易にする4つの統合された手袋を特色にします。RUDOLPH AXI-Sマスクとウェーハ検査アセットの光学ツールは、2つの強力なウェッジフィールド平面顕微鏡で構成されており、光学的に滑らかな表面のイメージングのための光学顕微鏡と暗所照明の両方を可能にします。アプリケーションによると、これらの光学機器は、2つのCCTVカメラ、ニコンの2つのCCDカメラ、カールツァイスの1つのUSB 2。0カメラ、またはオリンパスのデジタルカメラに接続できます。さらに、AXI-Sマスクおよびウェーハ検査モデルには、検査された表面の欠陥を迅速に検出および分類するための欠陥分類装置を備えた高度な画像解析および測定ソフトウェアが装備されています。検査パラメータを保存してリコールしたり、結果や画像を外部システムにエクスポートしたり、すべての画像を保存して分析したりすることができます。効率的な操作を保証するために、ユニットにはコントローラが装備されており、オペレータは手動モードと自動モードの両方で顕微鏡を制御することができます。コントローラは、アプリケーションに最適化されたパラメータを確認するために、ファンクションジェネレータとキャリブレーションウィザードを備えています。最後に、RUDOLPH/AUGUST AXI-Sマスクおよびウェーハ検査機は、フォトマスク、30x30 mmウェーハおよびその他の小さな部品の検査に最適化されています。直感的なユーザーインターフェイスと幅広い分析機能を備えた既存の生産ラインおよびプロセス制御システムに簡単に統合できます。このツールは、簡単な操作のために設計されており、最高の解像度で信頼性の高い結果を提供します。
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