中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9308155 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、マスクやウェーハを検査するための包括的なソリューションです。デジタル画像処理や高精度な計測など幅広いサービスを提供しています。AUGH AXI-Sは、高速検査とデータ分析、信頼性の高いインプロセス制御が可能な完全な機器です。RUDOLPH AXI-Sは、専用の光学部品、高度なソフトウェア、およびカスタム構築されたロボット処理システムで構成されています。これは、マスクやウェーハの欠陥を検出するために、感光センサーを使用しています。センサーは精密なX-yステージに搭載されており、ロボットベースでステージ上の任意の場所に移動できます。これらのセンサは、欠陥の正確な位置を測定するために校正され、各欠陥の寸法を正確に測定できます。AXI-Sはウェーハの形状や向きも測定します。バックイルミネーションイルミネーションモードと高度なエッジ検出アルゴリズムを使用して、ウエハの形状と位置の寸法を正確に測定します。このユニットはまた、イメージングデータの完全なデータ分析を行い、欠陥特性とデバイスパラメータの詳細な分析を提供します。このマシンにはウェーハ追跡ツールも含まれており、各ウェーハが資産を移動する際に追跡されます。このモデルは、機器のフロントエンドからバックエンドまでウェーハを追跡し、管理と品質管理を容易にする機能を提供します。ユーザーフレンドリーなRUDOLPH/AUGUST AXI-Sソフトウェアは、システムを制御し、パラメータを設定するために使用されます。ユーザーは、カスタマイズ可能な設定と強力な画像処理ツールを使用して、ウェーハごとにカスタマイズされたレポートを簡単に作成できます。ソフトウェアはまた、効率的で自動欠陥検出と簡単な欠陥検査を提供します。また、自動欠陥分類ツールも含まれており、各欠陥を正確に測定および診断することができます。欠陥分類ユニットは、サイズ、形状、位置、色などのさまざまなパラメータを使用した特徴レベル分析に基づいています。これにより、高精度で欠陥解析が容易になります。AUGH AXI-Sは、スピードと精度でオンライン検査を行うように設計された信頼性の高いマスクおよびウェハ検査機です。この検査ツールはカスタマイズ可能で、信頼性の高いインプロセス制御と完全なデータ分析を提供します。自動化された欠陥分類資産は、精度と欠陥検査を次のレベルに引き上げ、プロセス中とプロセス後の両方で完全な制御と分析をユーザーに提供します。