中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270934 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、半導体業界の要求に応えるために設計されたフル機能のマスクおよびウェハ検査装置です。この高度なシステムは、自動化された光学イメージング、X線蛍光分光、統計プロセス監視、および自動欠陥解析を組み合わせて、重要なIC構造の高分解能検査および評価を提供します。自動化された光学イメージングコンポーネントは、ブライトフィールド、斜め、軸方向のイメージング技術を組み合わせて、ICの特徴を高解像度かつ高精度に解析します。これにより、かすかな画像や特徴のパターンでさえも、即座に検査および分析できるようになります。さらに、この装置のX線蛍光分光機能は、デバイスの特徴の元素組成に関する詳細な情報を提供します。これは、デュアルダマシン金属ライン、トレンチ、エッチング、金属合金組成、およびデバイスの性能に影響を与える可能性のあるその他の構造的特徴の存在を評価するために有益です。AUGH AXI-Sは、光学イメージングとX線蛍光分光に加えて、強力な統計処理モニタリングを提供します。これにより、品質保証データの60以上のパラメータをキャプチャ、保存、分析できます。これにより、デバイスパラメータの傾向の特定、追跡、分析が容易になります。この機能により、製品の品質や信頼性に大きな影響を与える前に、潜在的な問題を迅速に特定して対処することができます。最後に、このツールの自動欠陥解析機能により、テストサイクルが短縮され、スループットが向上します。このアセットは、潜在的な欠陥を示す画像、パターン、および構造的特徴の微妙な変化を検出します。その後、モデルは詳細な解析を使用してデバイスの一般的な障害ポイントを特定し、是正措置を即座に推奨します。RUDOLPH AXI-Sは、IC構造の微妙な変化を効率的に検出する強力で汎用性の高い正確なマスクおよびウェハ検査装置です。光学イメージング、X線蛍光分光、統計プロセス監視、自動欠陥解析を組み合わせることで、デバイスの優れた信頼性の高い品質が保証されます。このシステムを使用することで、半導体メーカーは一貫して信頼性の高いIC製品を保証することができます。