中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270886 を販売中

AUGH-RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、2次元（2D）電子スキャンマスクと3次元（3D）ウェーハの欠陥をチェックするために設計された特殊なマスク&ウェーハ検査装置です。ユニークな光学イメージングとコンピュータベースの解析を組み合わせて、ウェーハやマスクの表面に印刷またはエッチングされたパターンのサブミクロンサイズの欠陥を検出します。AUGH AXI-Sシステムは、カスタム設計された光学顕微鏡、イメージダイシングデバイス、シリアルポート、スキャナ、ディスプレイモニター、および画像キャプチャ、ダイシング、および分析用の関連ソフトウェアを備えたコンピュータプロセッサで構成されています。検査では、照明されたサンプル表面を広視野顕微鏡で小さな領域にスキャンします。可視光線と紫外線（UV）光源を組み合わせて、光学顕微鏡はパターンのデジタル画像を複数の角度と倍率でキャプチャします。画像は、ソフトウェアによってタイルにダイカストされ、任意の欠陥をローカライズするために検査されます。画像は、特殊なアルゴリズムを使用して解析され、欠陥を特定して分類します。RUDOLPH AXI-Sユニットは、マスクやウェーハの検査に加え、リアルタイムで画像やパターンをキャプチャする機能も備えています。これは、カメラ、エンコーダ、およびフレームグラバーからなるリアルタイムイメージングマシンを使用することによって行われます。この機能により、異なるソースから同時に画像を取得することができ、パターンと欠陥を同時に比較することができます。さらに、このツールは、自動画像キャプチャ、パターン認識、欠陥確認、リアルタイム統計分析などの高度な機能を提供します。最後に、AXI-Sアセットは、最高の精度と効率、そして最も要求の厳しい品質要件を満たすように設計されています。機械的衝撃、振動、磁場に対する耐性が高く、様々なサンプリング環境に適応できます。RUDOLPH/AUGUST AXI-Sモデルは、高度な技術により、ウェーハとマスクの両方でサブミクロンサイズの欠陥を検出することができます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、使いやすく操作も簡単です。