中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9248722 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、効率的で信頼性の高い結果を提供するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高解像度イメージング技術と高度なパターン認識および欠陥解析ツールを組み合わせ、詳細かつ正確な検査を提供するフル機能のツールです。このシステムは、ウェーハ表面を3000xまで拡大することができ、複数の画像解像度をサポートすることができる走査型電子顕微鏡（SEM）を使用しています。マスクとウエハ検査装置は、低解像度イメージング用と高解像度イメージング用の2つの光学システムを備えています。低解像度イメージングマシンは、最大600 μ m × 600 μ mの画像サイズで、ウェーハの表面を3000倍まで拡大できます。高解像度イメージングツールは、最大50nm × 50nmの画像サイズを持ち、ウェーハの表面を2048xまで拡大できます。マスクとウェーハ検査アセットは、微細な欠陥を検出し、そのサイズと形状を測定するために設計されたパターン認識アルゴリズムを利用しています。このアルゴリズムは、最大1000ナノメートルのウェーハ表面の検査を行うことができ、最大50ナノメートルの特徴サイズを検出することができます。モデルはまた、欠陥を分析し、意図的な特徴や構造と区別することができます。マスクとウェハ検査装置には、2つの高度な欠陥解析ツールがあります。1つ目は欠陥分類アルゴリズムで、サイズ、形状、種類に基づいて欠陥を自動分類することができます。2つ目は、特徴と欠陥のサイズと形状を測定できる欠陥測定アルゴリズムです。どちらのアルゴリズムも高精度で、効率的な結果を得るために高いスループットを提供します。AUGH AXI-Sは、マスクとウェーハ検査のための強力なツールです。最大3000xまでのウェーハ表面の詳細な画像を提供し、最大50ナノメートルのフィーチャーサイズを検出できます。微細な欠陥を正確に検出し、形状に基づいて分類する高度なパターン認識および欠陥解析アルゴリズムを備えています。また、2つのハイスループット欠陥解析ツールを備えており、欠陥を迅速に分析し、信頼性の高い結果を提供します。