中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9245775 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、各工程の歩留まり解析のための正確な測定を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。それは隠された欠陥を識別することができ、ユーザーは壊滅的になる前に潜在的な品質リスクを見つけることができます。AUGH AXI-Sシステムには、検査ステーション、イメージングユニット、解析ソフトウェアの3つの主要部分があります。試験ステーションには、6RUDOLPH AXI-Sモーションアンドポジショニングマシン、内蔵光学、電動モータ、精密ステージがあります。イメージングツールは、サンプル表面の地形のばらつきと欠陥の両方を検出することができます。3。5メガピクセルのCCDカメラ、LED照明制御、拡大光学で構成されています。AXI-Sは、厚さ、抵抗率、エッチングレート、形状、プロファイルなど、サンプル表面の幅広いパラメータを測定できます。測定するデータは、表面をスキャンして収集します。分析ソフトウェアは、品質と歩留まりの評価に役立つ情報にこのデータを処理します。このアセットは、小さな構造物を測定するために使いやすく、高精度に設計されています。表面欠陥と下面欠陥の両方を識別することができ、その多機能機能により、ガラス、シリコン、ポリマー、金属などの材料を測定することができます。RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、ソフトウェア制御光学系、シャッターコントロール、光源選択、可変視野角、オートフォーカスなどの機能を備えています。さらに、XY-Zステージ、自動補正装置、パラメトリックテストモジュールなどのアクセサリも搭載しています。これらは、精度を向上させ、効率的な操作を容易にするために使用されます。AUGH AXI-Sは高い精度と柔軟性により、歩留まりを向上させることでユーザーの時間とコストを節約できます。さらに、システムからのデータをさらに歩留まり分析に使用することができ、歩留まり改善のための理想的なツールとなります。