中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9243730 を販売中

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9243730
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Macro wafer inspection system, 8" 2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、最新のLED、 OLED、 2D/3D IC、 MEMS、および高度なマイクロエレクトロニクス生産ライン向けに設計された、完全に自動化された高速マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、さまざまな自動ビデオ処理およびデータ分析方法を使用して、最大100mm/秒でマスクやウェーハを検査することができます。AUGH AXI-Sは10。4 インチカラーLCDタッチスクリーンを備えており、オペレータは効果的な検査に必要なすべての設定とパラメータに簡単にアクセスできます。また、ラインスキャン、フルフレーム、マトリックス、モザイクカメラなど、さまざまな形状やサイズのオブジェクトをスキャンすることができるカメラ仕様の範囲を備えています。RUDOLPH AXI-Sは、強力な画像認識アルゴリズムを使用して、粒子/パッド汚染、はんだブリッジ、ピンホール、エッジ欠陥などの幅広い欠陥を検出することもできます。精度のレベルは非常に印象的です、マシンは1µmのように小さな欠陥を検出することができるので。さらに、AXI-Sは、ウェーハとマスクの両方の表面を同時に検査できる「マルチスキャン」機能などの高度な機能を備えています。これにより、標準のイメージングシステムを使用しているときに発生する可能性のある誤登録エラーが防止されます。さらに、欠陥解析機能を備えており、欠陥の分析と定量化が可能で、繰り返し検査にかかる時間を短縮できます。また、RUDOLPH/AUGHT AXI-Sは、検査と欠陥解析を自動化する強力なソフトウェアを提供しています。ソフトウェアは、高度なアルゴリズムを使用して欠陥を検出し、分類し、ユーザーは検査とソートパラメータをカスタマイズするための設定の広い範囲を構成することができます。アセットのソフトウェアには欠陥分類のライブラリも含まれているため、異なるタスクの設定がはるかに簡単になります。AUGH AXI-Sは、マスクやウェーハの高品質かつ効率的な検査を可能にする優れたマスクおよびウェーハ検査モデルです。RUDOLPH AXI-Sは、高度な画像認識アルゴリズム、マルチスキャン機能、強力なソフトウェア、欠陥解析機能など、さまざまな高度な機能を備えており、現代のマスクおよびウェーハ検査システムの最前線に位置しています。
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