中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9220042 を販売中

ID: 9220042
ヴィンテージ: 2006
Advanced wafer inspection system Automatic data collection and reporting With wafer handler Inspection camera: 1.8MB Monochrome CCD Review camera: 3CCD Color Defect sensitivity: 0.5 Microns (User adjustable) 2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、高度なマスクおよびウェーハ検査装置およびエンジニアリングツールです。半導体業界向けのマスクやウェーハの全自動検査用に設計されています。複数レベルのマスクやウエハを高精度かつ再現性のある検査が可能で、様々な技術特性の迅速かつ効率的なチェックが可能です。検査には、デジタルカメラやレーザースキャナなどの高度な画像技術を活用しています。カメラは、マスクとウェーハパターンの画像をキャプチャし、分析のためにソフトウェアに画像を送信します。このソフトウェアは、パターン識別、欠陥印刷、図面のオーバーレイなどのさまざまなテストを実行して、検査されたアイテムの正確な画像を生成します。イメージング技術に加え、強力なアルゴリズムと信号処理技術を使用して欠陥を正確に検出します。平面(フラット)と3D(空間)の両方のマスクとウェーハを含む複数のレベルのマスクとウェーハを検査することができます。それは電気ショーツを引き起こすかもしれないサブピッチおよびライン幅の変化を検出し、腐食、露出およびパターン整列を点検できます。高度なイメージング技術と高度なアルゴリズムにより、潜在的な欠陥を迅速かつ正確に検出できます。この資産には、ユーザーが検査の結果を追跡できる包括的なデータ管理モデルが付属しています。データ管理装置を通じて、ユーザーは、製品の様々なバッチを比較するために使用することができ、過去のテスト結果を保存し、取得することができます。この機能により、ユーザーは製品の変化をすばやく検出し、潜在的な品質偏差を検出することができます。AUGH AXI-Sは、革新的で強力なマスクおよびウェーハ検査システムおよびエンジニアリングツールで、幅広い半導体アプリケーション向けに設計されています。その高度なイメージング技術と強力なアルゴリズム、その包括的なデータ管理ユニットと組み合わせて、短時間で可能な最小の欠陥を検出するためのマシンに最適です。
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