中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293706155 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、8月に開発された最先端のマスク&ウェーハ検査装置です。AUGH AXI-Sシステムは、ハイエンド光学イメージング技術と包括的な測定および欠陥検出機能を組み合わせています。このユニットには、優れた解像度とコントラストで画像をキャプチャできるカスタム光学プラットフォームが含まれています。複数の拡大が可能で、マスク面とウェーハ面の両方で大小の特徴を詳細に検査できます。RUDOLPH AXI-Sマシンは、構造化された画像と非構造化画像の両方のための高度な欠陥検出アルゴリズムを備えています。これらのアルゴリズムは、誘電体ブリッジ、ボイド、異物、ピンホール、電気ショーツ、スライバ、バブル欠陥などの異常を検出することができます。さらに、このツールにはパターンマッチング機能が組み込まれており、マスクおよびウェーハ表面上の注目すべき再発パターンの検出と分類が可能です。このアセットには直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、オペレータはカメラの設定、照明条件、画像の強化、欠陥タイプなどの特性を制御および変更できます。さらに、ユーザーインターフェイスを使用して、特定のウェーハ測定値を設定し、欠陥を検査および文書化するためのカスタムレポートを作成できます。レポートには、線幅や直径などの詳細なフィーチャー測定や、さらなる参照または分析のための画像選択を含めることができます。AXI-Sモデルには、測定結果の再現性と精度を高めるオートメーション機能も多数搭載されています。これらの機能には、自動化された画像ステッチ、バッチ処理、自動欠陥分類、および複数の画像の簡単なオーバーレイと比較を可能にするシャドウマスク機能が含まれます。全体として、RUDOLPH/AUGHT AXI-Sマスク&ウェハ検査装置は、高度な光学検査を行うことができる強力で使いやすいシステムです。高度な技術とオートメーション機能により、マスク欠陥とウェーハ欠陥の両方を高速で再現可能かつ正確に評価でき、品質管理と生産環境に最適です。