中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293634919 を販売中
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RUDOLPH/AUGUST AXI-Sは、半導体製造のために設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。高速スキャンと位置決めの精度と高度な高解像度光学系を組み合わせ、マスクやウェーハの欠陥を識別および検査するための信頼性の高い堅牢なシステムを提供します。このユニットは、超高解像度で欠陥を正確に検出および測定することができ、最高レベルのマスクおよびウェーハ品質保証を提供します。AUGH AXI-Sは、高速ラインオブサイトカメラを備えた革新的な3Dイルミネーションマシンを備えています。最大速度は毎秒100枚まで、最大解像度は6 μ mまでです。そのイメージングツールは、3次元の全方向画像技術を使用して、全面的な表面データをキャプチャします。このデータは自動的に解析され、SEM画像を含む欠陥識別情報と相関します。また、ウェーハのフロントローディングとアンロードが容易で、200mmから8インチまでの幅広いサイズのウェーハサイズを提供します。さらに、モデルには高度な欠陥検査機能があります。シャドウイメージング、視覚欠陥検出、表面署名、画像処理、極端なパターン認識など、幅広い検出アルゴリズムを備えています。また、自律運転も可能で、既存の生産フローや自動化に容易に組み込むことができ、高効率化が可能です。RUDOLPH AXI-Sには、自動化された前処理と後処理、正確な欠陥低減、完全なウェーハ製造解析機能など、多くの追加機能があります。さらに、モジュール設計により、特定のアプリケーションニーズや顧客の要求に簡単に適応できます。全体として、AXI-Sは信頼性が高く強力なマスクおよびウェーハ検査システムであり、最も効率的なプロセス実装で最高の品質保証と歩留まりを可能にする高度な機能と機能を提供します。高速、高分解能の光学系と高度な欠陥検出アルゴリズムにより、半導体製造が最高の効率と精度で行われることを保証します。
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