中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-935D #9260380 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-935D Mask&Wafer Inspection装置は、高速かつ高精度にウェーハ上の単層および複数層パターンを検査および測定するために設計された自動ツールです。これは、マクベス色補正システムを使用し、5。7インチの対角色LCDモニターは、ウェーハ上のパターンの鮮やかで高コントラストの表示を提供します。AUGH AXI-935Dには、高精度、高解像度、高速の3種類のアライメントテストを行うアライメントユニットが統合されています。マスクとウエハインターフェイスのアライメントを迅速かつ正確に実行し、検査手順中に完全にアライメントされるように設計されています。工具で調べたパターンのサイズを設定可能で、3ミクロン程度のパターンで解析が可能です。機械の感度は調節可能で、サイズに関係なくパターン欠陥や異常を検出することができます。RUDOLPH AXI-935Dは、1時間あたり最大400ウェーハの縦方向スキャンと横方向スキャンの両方で検査速度が可能です。信頼性が高く、電子機器と制御回路を内蔵しており、さまざまな種類のウエハやマスクを検査するために迅速に再構成することができます。このツールは、単一のレイヤー検査などの複数のスキャンモードをサポートし、単一のエクスポージャーで複数のレイヤーのパターンを検査します。また、反転したパターンを識別することができ、マスクとウェーハのパターンが異なる欠陥を識別することができます。AXI-935Dはオペレータに使いやすいソフトウェアインターフェイスを提供し、資産の効率的な運用と制御を可能にします。直感的なユーザーインターフェイスにより、各ユーザーの個々のニーズに合わせてモデルを効率的にプログラミングできます。さらに、ソフトウェアは、結果を管理するための多くの機能が含まれています、だけでなく、詳細な検査レポートと統計を生成するために。RUDOLPH/AUGUST AXI-935Dマスク&ウェーハ検査装置は、品質管理を最大化し、欠陥を低減するために探している生産ラインのための強力なツールです。高度な機能、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、高精度アライメントシステムにより、大量の高品質な生産に最適です。