中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9275463 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-935は、生産上の欠陥を特定し、防止するために設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、デュアルビーム非接触イメージング、高速エッジスキャン、低倍率ウェハスキャン、自動欠陥分類など、さまざまな高度な機能を提供します。本装置は350mmウェーハステージを採用し、直径8インチまでのウェーハサイズの測定が可能です。AXiマシンには、2つのビーム（1つは明るいフィールド用、もう1つは暗いフィールドのイメージング用）が装備されており、非常に高解像度で画像を生成することができます。ビームは、ウェーハの前後から検査を行うために調整することができます。この機能により、ツールはナノスケールのレベルでも欠陥を識別することができます。このアセットには、低背背景、低kVイメージングモデルも搭載されており、従来のイメージング技術が欠落していた可能性のある微妙な欠陥を検出することができます。欠陥分類には、高速パターン認識システムを採用しています。この技術は、最も複雑な表面欠陥を正確に特定し、分類することができます。また、自動認識機能も備えているため、再現可能な欠陥を迅速かつ正確に識別することができます。さらに、AXiマシンは、X軸とY軸の両方でサンプルを正確に測定できる高速エッジスキャニングツールを備えています。これにより、アセットは優れた寸法精度と位置精度を提供することができます。高精度のエンコーダモデルにより、マスク位置を正確に追跡し、欠陥の正確なサイズと形状と表面の粗さを計算することができます。最後に、AXiシステムは直感的なユーザーインターフェイスを誇り、ユーザーは設定をカスタマイズし、ユニットのパフォーマンスを最適化することができます。また、オペレータとサンプルを危険から保護するための強化された安全機能も提供します。これらのすべての機能により、AUGH AXI-935はウェーハやマスクの欠陥を迅速かつ確実に検出するための理想的なマシンとなります。