中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-9300 #9257705 を販売中

RUDOLPH / AUGUST AXI-9300
ID: 9257705
Wafer inspection system.
RUDOLPH/AUGUST AXI-9300は、最先端の光学、エレクトロニクス、機械工学を組み合わせた先進的なマスクおよびウェーハ検査装置で、市場で最も信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ソリューションの1つを提供します。このシステムにはテレセントリック光学ユニットが装備されており、機能評価のために2。5ミクロンまでの機能を備え、反復可能で安定した画像処理結果を得ることができます。これにより、他の検査ソリューションで欠陥を検出することができます。さらに、AUGUST AXI-9300は、検査対象のアプリケーションのニーズに適した、適応性の高いソフトウェアプラットフォームを提供します。このツールは、光学分野とウェーハステージ間の自動アライメントにより、一貫したパフォーマンスを提供するように設計されており、感光材料が常に同じ光学領域にイメージングされるようにします。これにより、撮影した画像は、資産が使用されるたびに信頼性が高く、一貫性があることが保証されます。RUDOLPH AXI-9300モデルはまた、装置が最適なイメージング性能を得るために校正されることを保証するために、自動化されたプロセス最適化を提供します。このプロセス最適化は、高度なアルゴリズムを使用して、システムが動作するたびに最高のイメージングパラメータが使用されるようにします。AXI-9300は、ウエハ上に配置されたフィーチャー間の相関関係を分析する独自のウエハマッピングソフトウェアにより、イメージング性能をさらに向上させ、さらなる分析が必要となる異常を強調します。このソフトウェアは、ユーザーが存在する可能性のある欠陥を迅速に検出するのに役立ちます。さらに、RUDOLPH/AUGH AXI-9300は二次検出ユニットも提供しています。この紫外線検査プロセスにより、光検査プロセスでは見えない傷などの欠陥を検出することができます。最後に、AUGUST AXI-9300は、ユーザーの効率を最大化するために設計されたいくつかのパフォーマンス機能を提供します。これらの機能には、サンプリングされたウェーハイメージに素早くアクセスして分析できるデータロギングマシンが含まれます。さらに、このツールにはユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)があり、ユーザーは簡単にアセットを制御して最適なイメージングパラメータを選択できます。さらに、ユーザーはプロセス中にイメージングパラメータを最適化して、最も最適な結果を得るためにイメージング設定をすばやく調整することもできます。全体として、RUDOLPH AXI-9300マスク&ウェーハ検査モデルは、最新の技術を満載し、信頼性と効率的なマスク&ウェーハ検査のために設計された先進的な機器です。最先端の光学系、自動化されたプロセス最適化、高度なウェーハマッピング、直感的なユーザーインターフェイスを備えたAXI-9300は、汎用性と信頼性に優れた統合ソリューションを提供します。
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