中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9257476 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-930は、効果的な欠陥検出と計測のために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。単体での高解像度画像取得、画像倍率、データ検査を実現し、半導体材料の品質管理を可能にします。モジュラー設計により、品質保証とプロセス制御のための効率的なツールとなります。AUGH AXI-930は、最大7倍の光学倍率を持つ高精度の水晶光学ユニットを内蔵しており、さまざまなウエハサイズの検査に適しています。また、複数のイメージング機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスも備えており、カスタマイズされた欠陥レビューを可能にします。高度な画像最適化ツールにより、オペレータは正確な欠陥検出に最適な画像を選択できます。RUDOLPH AXI 930は、高精度の画像をキャプチャするための高解像度CCDカメラを備えています。また、発光ダイオード（LED）照明装置を備え、均一な照明を提供し、画像領域の均一で正確な照明を提供します。このLEDは大きなダイナミックレンジを提供し、ユーザーは最小限の影で正確な測定を行うことができます。オートキャリブレーション機能によりセットアップ時間が短縮され、自動欠陥分類アルゴリズムがプロセス評価のスピードアップに役立ちます。さらに、自動レチクル補正により、低コストのアライメントとフィーチャーの位置決めが保証されます。このツールを使用すると、ウェーハ認証用の測定データを統合できます。AUGUST AXI 930は、上記の機能に加えて、計測および解析ソフトウェアツールの包括的なセットを含む統合計測データパッケージ（MDP）も提供しています。この包括的なMDPツールは、追跡可能なプロセス管理パラメータと制御を可能にします。RUDOLPH/AUGUST AXI 930マスクおよびウェーハ検査アセットは、半導体製造、実験室、品質管理、または実験室環境に最適なツールです。このモデルは、強力な機能により、優れたイメージング結果と精度測定を提供し、最大限の効率を実現します。