中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9253828 を販売中

RUDOLPH / AUGUST AXI-930
ID: 9253828
ウェーハサイズ: 12"
Macro defect inspection system, 12".
RUDOLPH/AUGUST AXI-930は、半導体デバイスの製造者が高品質の規格に準拠できるように設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。これは、リソグラフィ試験結果を要約するための高度な画像処理技術を備えたハイテク光学イメージングシステムで構成されています。AUGH AXI-930は、最大8インチのサイズと最大10倍の解像度の複雑なデバイスタイプに対応できます。それは点検の大きい感受性そして正確さを提供します。先進的な光学系と革新的なフォーカス外検出ユニットを備えており、1/100ミリのサイズの欠陥を検出し、低解像度でも正確に識別することができます。RUDOLPH AXI 930には、画像データを自動的に評価し、スキャンでのみ検出可能な欠陥を含む欠陥位置とサイズに関する包括的な要約レポートを作成する強力で使いやすいソフトウェアも含まれています。また、同じロット内の複数のウエハにまたがる欠陥箇所の迅速な分析も可能です。この機械には、自動測定や欠陥解析機能、自動ルールチェックツールなどの機能があります。このアセットは、再現性と高感度を提供するパターンモデルのような問題を特定することができます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイス、高速な測定サイクルタイム、およびシングルクリックデータ取得により、AXI-930は大規模なリソグラフィーマスクおよびウェーハ検査のための効率的で正確で経済的なソリューションとなります。また、大型のタッチパネルディスプレイを搭載しており、オンラインヘルプメニューに簡単にアクセスでき、自動検査装置を制御するための完全に最適化されたGUIを備えています。AUGUST AXI 930は、優れた多言語対応を備えており、国際的なお客様がより便利にシステムを独自の言語で使用することができます。最後に、RUDOLPH/AUGUST AXI 930は低コストのメンテナンス用に設計されています。単位は1分未満で自己目盛りを付けることができ、1年の製造業者の保証と支持されます。
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