中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9107569 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask&Wafer Inspection Equipmentは、イメージング技術と高度なパターン認識ソフトウェアを組み合わせ、半導体マスクとウェーハの迅速かつ効率的な検査をサポートします。AUGH AXI-930は、高度な光学・モーションコントロール技術を活用して、ウェハまたはマスク全体にわたる顕微鏡の視野ごとに最大9つの「ダイ・サイト」フィールドを検査します。RUDOLPH AXI 930のオートメーション対応の変更により、さまざまなファクトリーオートメーションシステムに統合できます。AXI 930には、パルス化された360°レーザダイオードラインスキャンシステム、目視検査、および金属酸化物半導体フィールドエフェクトトランジスタ（MOSFET）電流供給ユニットが装備されており、ユーザーに表面検査とエッジ検査の両方に単一のマシンを提供します。RUDOLPH/AUGUST AXI 930には、可変倍率ドライブモジュールが搭載されており、オブジェクトのスケールに応じて画像倍率を最小40Xから最大500Xまで自動的にシフトできます。AXI-930の内蔵ドリフト補償により、ウェーハの負荷が手動ハンドリングまたはウェーハ表面の温度勾配によるウェーハ位置のシフトによってどのように影響されるかにかかわらず、最適な画像フォーカスを維持します。Ethernet接続PC上で動作するように設計されたこのツールのImage Acquisition and Processingドライバソフトウェアは、フルフィールドイメージの取得、表示、および画像処理機能を提供します。画像は、単一の画像として、または複数の画像ビットマップとして保存することができます。AUGUST AXI 930のパターン認識モジュールは、FDTD （Finite Difference Time Domain）とHough変換アルゴリズムの両方をサポートし、半導体デバイスの欠陥を検出するための複数のフィルタリングおよびノイズ低減アルゴリズムを備えています。RUDOLPH AXI-930は、リアルタイムの画像処理と欠陥認識も備えており、不良特性の変化に素早く反応することができます。また、MetaCamソフトウェアアプリケーションは、各検査サイクルの結果を自動的に記録しながら、さまざまなフォーマットで印刷可能な欠陥画像を生成することができます。要約すると、RUDOLPH/AUGTH AXI-930 Mask&Wafer Inspection Modelは、高度な画像解析とパターン認識ソフトウェアと高度なモーションコントロール技術を組み合わせて、半導体ウェーハとマスクのさまざまな欠陥を迅速かつ正確に特定して特定します。この機器には、可変倍率ドライブ、リアルタイム画像処理技術、高速パターン認識システム、フルフィールドイメージ取得ソフトウェアが含まれています。AUGTH AXI-930は、半導体ウェーハおよびマスクの欠陥を識別および測定するための高度で信頼性の高いツールです。