中古 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #293633971 を販売中

RUDOLPH/AUGUST AXI-930 AUGTH Technologiesのマスクおよびウェーハ検査装置は、半導体ウェーハおよびマスク基板を正確に検査および分析するために設計された自動検査システムです。その高度な光学ユニットは、粒子レベルやその他の表面欠陥の迅速かつ正確な検査を提供します。AUGH AXI-930は、30ミクロンの最小スキャンサイズで、ウェーハ上で最大6つの欠陥サイズを検出することができます。このマシンは、ウェーハ全体に均一な欠陥カバレッジを提供するように設計されており、最大ウェーハサイズは200mmです。6。1メガピクセルのフルカラーカメラを搭載し、1,000フレーム/秒でフルフレーム画像をキャプチャできます。RUDOLPH AXI 930には直感的で使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があり、オペレータはプリセットのライブラリから選択するか、独自のカスタマイズされたプリセット設定を作成できます。これらの設定には、画像品質の調整、欠陥レイアウトの分析、および制御ツール機能に使用できるフィルタとアルゴリズムが含まれます。GUIを使用すると、ユーザーは画像のレビューと注釈、および関心のある領域（AOI）の選択、およびテストパターンを行うこともできます。検査アセットには、ウェーハの自動ロード/アンロード、画像ステッチ、3Dパターン補正モデル、自動フォーカスなど、操作をより簡単にする機能が組み込まれています。さらに、高度な光学技術により視野が広がり、100ナノメートル以上の粒子や欠陥を検出することができます。RUDOLPH AXI-930は、複数のマスクやウェーハ基板に対応でき、複数の基板を高速かつ正確に登録できる自動基板アライメント機能を備えています。また、特許取得済みのキャリブレーション機能が搭載されており、1つ目と2つ目のフィールド間の微調整を自動的に行うことでオペレータの介入を最小限に抑えます。RUDOLPH Technologiesの先進的な光学系、直感的なユーザーインターフェース、複数の基板サポート、自動化されたアライメント機能を備えたRUDOLPH/AUGH AXI 930マスクおよびウェーハ検査装置は、半導体ウェーハおよびマスク検査に最適です。これは、粒子レベルやその他の表面欠陥の迅速かつ正確な検査結果を探している半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。