中古 QUATEK 2PROF35220 #9302545 を販売中

QUATEK 2PROF35220は、マスクとウェーハの自動検査のための精密アライメント、高度な画像処理、大量スループットを提供するマスクおよびウェーハ検査装置です。2Dインディメンション（I-D）パターニングシステムを備えており、複雑なパターンを迅速に検査し、正確で信頼性の高い状態を維持します。このユニットはズームされたサブフィールドエリアアーキテクチャで動作し、広い作業領域で正確な精度と高速性を実現します。このマシンは、検査プロセス中に完全なカバレッジのために、複数の方向と異なるズームレベルからの画像をキャプチャする2次元イメージセンサアレイを備えています。これにより、マスクとウェーハの両方を正確かつ迅速に検査することができます。パターニングソフトウェアは、円、長方形、平行四辺形など、さまざまな形状を1つのスキャンで認識できる完全自動検査アセットで設計されています。また、マスクやウエハを検査するカラーオーバーレイ機能も搭載しています。このモードでは、透明レイヤーと不透明レイヤーを切り替えて、異なるレベルのコントラストを表示できます。これにより、製造のさまざまなフェーズを検査する際の精度が向上します。さらに、マスク、ウェーハ、オーバーレイの欠陥を自動的に分析することができ、欠陥の発見と修正が容易になります。このシステムにはセルフキャリブレーションツールも装備されており、検査実行ごとにセンサパラメータとズームレベルを自動的に調整することができます。これにより、さまざまな部品とバッチ間で一貫したパフォーマンスが保証されます。このユニットには、データレポートを生成する後処理ソフトウェアと、結果を視覚化するためのグラフィカルインターフェイスも含まれています。高速スキャンアルゴリズムを使用して、スキャンパラメータに応じて、1時間あたり最大7。2kのマスクまたはウェーハを処理できます。より大規模な実行の場合、このツールは最大8つの構成可能なヘッドを備えたマルチヘッドアセットで構成でき、スループットをさらに向上させます。モデルの構造は堅牢で、連続的なスループットのために設計されています。これにより、拡張実行時の信頼性が確保されます。また、メンテナンスとアップグレードが容易なDSS（サービスポート）も内蔵しています。全体として、2PROF35220はすべてのマスクおよびウェーハの点検の必要性のための理想的な選択です。柔軟な設計と高スループット能力により、幅広い部品を迅速かつ正確に検査できます。