中古 PRISM VIT-128 #293587219 を販売中

PRISM VIT-128は、KLA-Tencorが開発したPRISMシリーズの最先端マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、集積回路の製造に使用されるマスクおよび基板の全範囲を検査することができ、超高スループットを可能にするように特別に設計されています。VIT-128の強力な検査能力は、独自の技術の組み合わせによって可能になります。コアには高解像度のナノスポット投影機を採用し、0。1マイクロメートル以下の検出解像度を実現しています。1。3メガピクセルカメラと組み合わせて、このツールは、リアルタイムでマスクとウェーハの欠陥の投影とバックライト付き画像の両方を検査することができます。さらに、1時間あたり最大100Kの検査速度と、月間100万以上の高いスループットを誇ります。PRISM VIT-128は、可変フォーカスフォーチャンネルイメージング（FFT）や空間分解散乱計（SRS）などの特許取得済みのイメージング技術を使用して、精度、再現性、信頼性の高い検査結果を提供します。これにより、欠陥を検出するモデルの精度と感度が向上し、偽陽性検出の速度が低下します。さらに、ブライトフィールド、ダークフィールド、減衰したブライトフィールド照明モードを利用することで、マスクやウェーハパターンをより可視化し、さまざまなレイヤーや基板を検査することができます。VIT-128は、強力で柔軟な自動欠陥および手動欠陥レビューを提供し、徹底的かつ包括的な分析を可能にします。XYZ顕微鏡を使用した強力なウェハベースのレビューが含まれており、複雑なデバイスの精密な検査と複数の欠陥タイプの正確な特性評価が可能です。さらに、システムにはKLA-TencorのDefect Origin Mapping （DOM™）技術が含まれており、欠陥とその起源を識別する際の制御と精度を向上させます。最後に、KLA-TencorのTotalPrint™イメージングマシンを使用して、欠陥地形にリアルタイムでアクセスできます。これにより、ユーザーは欠陥の画像をキャプチャして保存し、さらなる分析とレビューに使用することができます。TotalPrintの高解像度画像により、異なる検査ステーション間の欠陥検出を比較し、さらなるエンジニアリング検証を行うことも可能です。全体として、PRISM VIT-128は非常に信頼性が高く、強力なマスクおよびウェーハ検査ツールであり、比類のない欠陥検出および特性評価機能を提供します。高解像度イメージングと革新的な欠陥レビュー機能により、さまざまな欠陥を高精度で検出し、欠陥のない集積回路を保証します。