中古 PRISM VIT-128 #293587206 を販売中
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PRISM VIT-128は、半導体業界向けに特別に設計されたマスク&ウエハ検査装置です。マシンビジョンテクノロジーを活用し、ウェーハの欠陥などの異常を顕微鏡レベルで検出する、ビジョンベースの自動検査システムです。ユニットは、超高解像度のテレセントリックレンズと統合されたイメージング&ビジョンプロセッサで構成されています。レンズは、検査中のウェーハの高密度画像をキャプチャすることができます。イメージングとビジョンプロセッサは、最新のアルゴリズムとアーキテクチャを使用して検査を実行します。それは、傷、欠けたエッジ、壊れたファセット、局所汚染、亀裂、ピット、穴、およびその他の視覚的不連続性を含む表面欠陥を迅速かつ正確に検出することができます。機械は1umの決断まで高精度の異常を検出することができます。VIT-128ツールは、パラメータの簡単なセットアップと検査プロセス全体の簡単な制御を可能にする直感的なユーザーインターフェイスを持っています。モノリス、液滴、ロータリーなどの複数のイメージングモードを備えており、検査対象の複数の画像をキャプチャできます。この資産には、仕様外の異常を検出し、検査ステーションで直ちに通知するリアルタイム状態監視も装備されています。このモデルには3Dイメージング機能もあり、検査対象物の物理的および幾何学的特性についての洞察を提供します。高さと幅を正確に測定し、サブピクセルレベルでテクスチャ解析を行うことができます。また、個々の粒子やその他の汚染などの複雑な表面フィーチャーの分析を可能にする高度な画像処理アルゴリズムも含まれています。高度な機能に加えて、PRISM VIT-128検査装置は、高度な自己診断およびメンテナンス機能を備えており、非常に使いやすく維持できます。また、将来のアプリケーションのニーズを満たす拡張性のために設計されています。この高度な検査システムは、ウェーハやマスクの様々な欠陥や不規則性を微細レベルで迅速かつ正確かつ信頼性の高い検出を可能にします。
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