中古 PRISM VIT-118 #9306005 を販売中
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PRISM VIT-118は、高解像度の光学イメージングと高度なパターン認識アルゴリズムを組み合わせ、マスクやウェーハなどの3Dオブジェクトを検査する自動非接触検査装置です。このシステムは、進化を続ける最新の半導体市場の要求に応えるように設計されており、大量検査のための費用対効果の高い正確な手段を提供します。VIT-118のイメージングアーキテクチャは、1つの高解像度ともう1つの高解像度の2種類のデジタルイメージングを使用して、1つのステップで明瞭さと忠実度の両方で画像をキャプチャします。また、40〜500ナノメートルの高精度な高さ測定が可能で、平坦面と曲面の両方の欠陥を検出できます。また、0。05〜6mmのフレキシブル視野を有しており、半導体マスクやウェハ検査でよく使用される幅広い目的に対応しています。高度なパターン認識アルゴリズムを使用して、このツールは画像を検査し、潜在的な欠陥のジオメトリを事前に定義された規則セットと比較します。基準を満たす欠陥は分類され、付属の画像上に自動的に表示され、不良品を特定する際のユーザーの利便性を最大限に高め、非効率的な検査および分類時間を最小限に抑えることができます。このアセットは、リピートエラーやサンプリングエラーなどのパターンを比較することもできます。PRISM-PRISM VIT-118は、お客様固有のモジュールなどのビジョンソフトウェアツールとも互換性があり、お客様の特定の要件に合わせてカスタマイズされたルールとアルゴリズムを作成できます。さらに、お客様は事前に検査プロセスをグラフィカルにシミュレートし、検査セットアップ時間を最適化することができます。全体として、VIT-118は、大量の産業アプリケーション向けに信頼性の高い自動非接触マスクおよびウェーハ検査を提供します。柔軟なイメージングアーキテクチャと高度なパターン認識アルゴリズムを組み合わせることで、コストと労力の効率を促進し、精度と生産性を最大化します。
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