中古 PARLEC P2500A-0387 #9266043 を販売中

PARLEC P2500A-0387は、高精度の光学/スキャン電子顕微鏡（SEM）およびマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムを使用すると、マスクとウェーハの重要なパターンの特徴をナノメートルレベルで表示および測定することができます。P2500A-0387には高解像度のSEMイメージングユニットがあり、細かいパターンの特徴を表示および測定することができます。高度な自動ウェーハスキャン機能を搭載しており、ウェーハ全体を自動的にマッピングすることができます。その自動フィーチャー抽出機能は、欠陥の正確な検出と測定、オーバーレイデータの特性評価、およびフィーチャー分析を可能にします。このマシンは、高度なプロセスノードから低k誘電層まで、幅広いマスクやウェーハを検査することができます。さらに、このツールは便利なユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーは迅速かつ効率的にデータと対話することができます。PARLEC P2500A-0387は、ファインフィーチャー測定のための光学イメージングプロセスを利用しています。パーレックでは、スペクトラム拡散干渉計、エッジコントラスト、非破壊画像を活用することで、表面形状を高精度かつ高精度に測定することができます。IRイメージングプロセスは、高度なプロセスノードにとって重要な低Kの材料厚を検出および測定することができます。SEMイメージングアセットには、二次電子、後方散乱電子、X線検出器が含まれます。これらの検出器はすべて、フィーチャー形状と寸法パラメータの両方を測定するために使用できます。さらに、試験片の回転能力の広い範囲にアクセスできるため、困難な特徴の3D地形を正確に測定することができます。Mask&Wafer Inspection Modelには強力なインターフェースソフトウェアがあり、ウェーハの測定と分析に必要なすべてのパラメータをユーザーに提供します。また、エッジ検出、フィーチャー解析、オーバーレイ測定など、幅広い強力なオートメーションツールをサポートしています。全体として、P2500A-0387は非常に強力で正確なマスク&ウェーハ検査装置です。ユーザーがナノメートルレベルで重要なパターン特性を測定できるように設計されており、高度なプロセスノードと低k誘電層を最大限に活用することができます。さらに、インタラクティブ性の高いユーザーインターフェイスと自動化された機能により、このシステムはあらゆるEMSラボにとって貴重なデバイスとなります。