中古 PARAGON Ultra 60 #9203543 を販売中
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ID: 9203543
Laser imaging system
Minimum pitch: 50µm
Minimum feature size: 16µm
Data resolution: 2µm (12,700 dpi)
Edge roughness (3σ): ±1µm
Registration accuracy (FTG): ±8µm
Side to side registration (3σ): 15µm
Maximum substrate size: 558mm x 660mm 22" x 26"
Maximum image size: 508mm x 609mm 20" x 24"
Substrate thickness: 0.05mm to 3mm
Imaging wavelength: UV range, 355nm
Energy range: 10-2200 mJ/cm²
Different energy settings:
500 x 400mm, 4 Symmetrical targets, 6sec load/unload
10mJ/cm² - 80 panels/hour
20mJ/cm² - 80 panels/hour
80mJ/cm² - 35 panels/hour
10mJ/cm² - 30 panels/hour
120mJ/cm² - 25 panels/hour
Applications:
IC Substrates
Solder mask
Inner layers & outer layers
Sequential build-up layers
Flex & rigid-flex PCBs
Standard configuration:
Laser system
OPFX Input
RIP Server
8GB Raster memory
Scaling system & power vacuum
System options:
Hole-free inner layer registration
Partial scaling
Wise scaling
Stamping
2D Barcode stamp
Additional vacuum customization plate.
PARAGON Ultra 60は、高性能な歩留まりを備えた高度な計測を提供する高精度マスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクとウェーハの欠陥を高精度、再現性、再現性で検査するために特別に設計されています。このユニットは、プロセス関連の欠陥、残留物、および仕様外の機能を検出できます。このマシンは、マスクとウェーハの前面と背面の両方をイメージすることができる高度なイメージング技術を使用しています。これにより、ツールは特徴と欠陥を正確に測定することができます。このアセットは、温度変動、蒸着および材料抵抗による欠陥の重要な検出および分析を行うこともできます。このモデルは、画像および電気測定の両方に正確な自動欠陥検査を使用しています。これにより、装置は、プロセスの変化による欠陥を正確に識別し、測定することができます。光学システムは、薄線などの小さなパターン欠陥や、2nm以下のツール分解能を持つその他の機能を検出することも可能です。このユニットは、直感的なコントロールパネルと人間工学に基づいた測定設計を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスも備えています。これにより、操作とデータ解釈が簡単になり、複数の動作モードが提供されます。Ultra 60は、最大500mm/sの超高速スキャン速度を備えており、欠陥の迅速な検出と分析を可能にします。機械はまたSEMI P-Oまたは他の標準フォーマットのようなさまざまなフォーマットと互換性があります。このツールは乾燥または湿った環境で動作するため、幅広い用途に適しています。このアセットはまた、検出および測定する欠陥を容易にする広い視野を提供します。ユーザーフレンドリーなコントロールパネルには、簡単なデータ通信のための標準的なユーザーインターフェイスが含まれています。また、マスクまたはウェーハの3D画像上で、欠落している構造、印刷欠陥、不一致、および欠落しているチャンネルを検出できる比較アルゴリズムの組み込みセットも含まれています。パラゴンウルトラ60は、接触技術や非接触技術など、さまざまな診断ツールを使用するように設計されています。また、高精度でプロセスや材料関連の欠陥を測定することができます。結論として、Ultra 60は高効率で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査モデルであり、高性能な歩留まりを備えた高度な計測を提供します。ユーザーフレンドリーなコントロールパネルと広い視野が使いやすく、さまざまな用途に適しています。
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