中古 OSI VLS-1 #176092 を販売中

OSI VLS-1は、要求の厳しい半導体アプリケーション向けに設計された、完全に自動化されたトップダウン（ブライトフィールド）インラインマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、欠陥検出、不透明度、反射率、コントラストなどのリソグラフィックマスクの重要な光学パラメータを測定することができます。また、ウェーハ表面の汚染、マイクロクラックなどのリソグラフィ不良を検出することができます。VLS-1は、ブライトフィールドとダークフィールドの照明技術を使用して、マスクとウェーハの両方を検査します。先進の8軸高解像度XYモーターユニットを搭載し、マスクをミクロン精度で正確に配置できます。また、拡大鏡とレーザースキャン顕微鏡を内蔵しており、最大256x256ミクロンの領域を最大90ミクロンの被写界深度で検査できます。高速で高性能なCCDカメラにより、非常に高い感度で0。1ミクロン以下の欠陥を検出することができます。OSI VLS-1ソフトウェアは、プロセス制御とスタンドアロンオペレータ制御の両方のために設計されています。データベースアセットと統合されており、ユーザーはパラメータを設定して結果を保存できます。ソフトウェアインターフェイスはユーザーフレンドリーで直感的で、データの迅速かつ簡単なセットアップと分析を可能にします。VLS-1は、重要なマスクおよびウェーハの製造要件に必要な比類のないレベルの精度と感度を提供します。直感的で使いやすいインターフェイスにより、結果への迅速なアクセスが可能になり、プロセス制御と最適化に最大限の柔軟性が得られます。最後に、OSI VLS-1は、製品歩留まりを改善し、スループットを向上させ、マスクおよびウェーハ検査に関連するコストを削減するための費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。