中古 NIKON Optistation #9218871 を販売中

NIKON Optistationは、半導体製造に使用される包括的で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。高度なイメージング技術、特殊光学、人工知能アルゴリズムを使用して、さまざまな種類のマスクやウェーハ表面を検査します。Optistationは、高解像度のイメージングシステムと高精度と再現性を組み合わせて、最小の欠陥の存在を検出します。NIKON Optistationは、デジタルカメラ、光源、画像キャプチャオプティクスからなる高度なイメージングユニットを採用しています。デジタルカメラは、マスクまたはウェーハ表面の画像をキャプチャし、接続されたホストマシンに転送して処理します。光源は、マスクやウェーハ表面から反射し、画像キャプチャ光学系によってキャプチャされる画像を作成します。Optistationは、一次欠陥と二次欠陥の両方を検査することができます。一次欠陥はツールの計算イメージングアルゴリズムによって検査されますが、二次欠陥は各欠陥の形状、サイズ、向きを考慮したより高度な解析が必要です。このアセットは、裸面や不動態面の検査にも使用でき、ブリッジ、ピンホール、露出誘電材料など、さまざまなマスキング問題を検出することができます。強力なAIアルゴリズムNIKON Optistationを使用すると、円、長方形、正方形などのマスキング形状全体とローカライズされた形状の両方を認識できます。Optistationには高精度の位置決めモデルも含まれており、X、 Y、 Z方向の高速かつ再現可能な測定が可能です。これにより、機器によってキャプチャされた画像がマスクまたはウェーハの表面に正確に揃っていることを確認します。また、NIKON Optistationは欠陥検出とユーザビリティを高めるいくつかの機能を提供しています。システムには統合された顕微鏡が含まれており、ユーザーはズームインして欠陥をより詳細に見ることができます。さらに、Optistationにはデジタル画像処理モジュールが付属しており、時間の経過とともに画像のわずかな変化を検出できます。全体的に、NIKON Optistationは、精度、精度、再現性を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。Optistationは、高度なイメージング技術、特殊光学技術、人工知能アルゴリズムを活用して、マスクやウェーハの欠陥を検出および分析する効果的な手段を提供します。