中古 NIKON Optistation #293608235 を販売中

ニコンオプティステーションマスクとウェーハ検査装置は、フォトマスクとウェーハの精密な自動検査を提供します。革新的な光学および画像処理技術により、フォトマスクやウェーハの欠陥や損傷を迅速かつ正確に検査できます。Optistationは、最大5 x 5 μ mの解像度で最小のパターンであっても、傷、斑点、空隙、亀裂、パターンの変形、傷、ピンホールなどのいくつかの種類の欠陥を検出することができ、最も複雑な設計の欠陥を特定および修復する必要があるエンジニアに最適です。NIKON Optistationは、1。3メガピクセルカメラ、テレセントリックレンズ、LED光源、プロジェクションオプティクスなどの技術を駆使し、ウェーハやマスクの高画質画像を撮影しています。このシステムは、単一のスキャンでウェーハ全体または特定の領域を検査できます。特許取得済みのオブジェクトムーブメントとスキャンエレクトロニクスにより、Optistationはウェーハ全体をスキャンする場合、従来のシステムの最大9倍の高速化を実現します。NIKON Optistationは、フォトマスクやウェーハに関連する最も一般的な問題に加えて、ユニットが複雑な欠陥を検出することを可能にする高度な分析機能を備えています。高度な画像解析アルゴリズムは、画像を分析してリファレンスデザインと比較し、製造中のエラーを特定したり、プロセスの不規則性や体系的な欠陥を露出させたりするのに役立ちます。Optistationの直感的なインターフェイスにより、操作が簡単になります。すべての検査パラメータは、タッチスクリーンインターフェイスから調整可能で視覚的に選択可能であり、ユーザーは繰り返し検査のためのテストパラメータを簡単に保存して呼び出すことができます。さらに、検査ごとに収集された包括的な統計により、詳細なプロセス分析と最適化が可能になります。NIKON Optistationは、最高の検査精度を確保するために、明るいフィールドと暗いフィールドの両方の検査精度を高める方法を備えています。Optistationは最も精密で、信頼できる結果を提供する信頼できる、有効な点検機械です。これにより、お客様はプロセスの品質を向上させ、歩留まり目標を達成しながら、試験コストを削減できます。