中古 NIKON Optistation VII #9225598 を販売中
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ID: 9225598
ウェーハサイズ: 12"
Automated inspection station, 12"
With FOUP loaders
(2) FOUP Front end load ports:
ASYST ISO Port FL300
With mapper and RFID
Integrated ULPA filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
10x Eyepieces
Objective lens:
2.5x N.A 0.075 W.D 8.8 mm
10x N.A 0.300 W.D 6.50 mm
20x N.A 0.460 W.D 3.10 mm
50x N.A 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A 0.900 W.D 0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 Watt
Robot and robot controller
Ceramic robot arm
Ceramic rotation arm
Macro unit (A): Wafer chuck
Macro movable uni
Slider assembly
Macro unit (B): Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit:
XY Stage / Chuck
X, Y, Z Drive units
Dart controller for image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard & trackball
Image capture board
SONY Camera: DXC-9XX/MD.
NIKON Optistation VIIは、統合された高解像度ウエハレベルカメラ、超高解像度の光学、高度な照明技術、高度なソフトウェアを備えた高度なマスク&ウエハ検査装置です。Optistation VIIは、半導体集積回路の製造に使用されるマスクおよびウェーハの高速かつ正確かつ非破壊的な検査を可能にします。NIKON Optistation VIIは、高度な機能により、マスクやウェーハを検査し、欠陥、異常、パターンの欠陥を見つけるための包括的なシステムを提供します。Optistation VIIは、金属とフォトマスクの両方の光学検査用に設計されており、正確な検査を保証するために、10倍の最大視野と20。4 μ mの最大解像度を可能にする特別に設計された顕微鏡を備えています。NIKON Optistation VIIは、マスク反射、スペキュラーハイライト、およびその他の物質的欠陥のわずかな不規則性を検出することができます。Optistation VIIには高解像度のウエハレベルカメラもあり、16nmの精度で構造物を検査することができます。カメラはCMOSイメージセンサーを備えており、視野幅は3。8mm、解像度は1。5umで、最大データレートは56Gbpsです。カメラは、様々な焦点距離に調整することができ、研究されている材料の最高の解像度と照明を可能にします。検査ユニットは、偏光照明、散乱照明、斜め照明など、さまざまな高度な照明技術を提供しています。NIKON Optistation VIIには、ピンホール、汚れ、線、パターンの欠陥など、さまざまな欠陥を検出して測定できる強力な画像処理ソフトウェアが搭載されています。欠陥はリアルタイムで識別され、ソフトウェアは定量的な欠陥分析で詳細なレポートを作成できます。Optistation VIIは、幅広い業界に強力で柔軟なマスク&ウェーハ検査機を提供します。NIKON Optistation VIIは、高解像度光学系、高度な照明法、欠陥の検出・解析ソフトウェアにより、マスクやウエハーの効率的な検査が可能です。
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