中古 NIKON Optistation VII #9171873 を販売中

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マスク＆ウェーハ検査
製造業者
NIKON
モデル
Optistation VII
ID: 9171873
ウェーハサイズ: 12"
Wafer defect inspection system, 12", parts machine (2) FOUP Front end load ports ASYST ISO port FL300 with mapper and RF ID ULPA Filtration system Air suspension vibration isolation table Standard microscope unit with automated control Eyepieces: 10x Objective lens: 2.5x 0.075 W.D. 8.8 mm 10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm 20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm 50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm 15x N.A. 0.900 W D.0.29 mm Halogen lamp house: 12 V, 100 W Robot controller Ceramic robot arm Macro unit A: Wafer chuck Macro movable unit Slider assembly Macro unit B: Arched holder Rotation unit assembly Micro stage unit XY Stage / Chuck XYZ Drive unit DART Controller: Image archiving and defect review LCD Display Keyboard / Trackball Image capture board: Integral technologies video card SONY Camera: DXC- 9XX/MD Includes: Robot Sensor ARM Power supply Magnetic track Controller.
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NIKON Optistation VIIは、包括的かつ先進的なマスク&ウエハ検査装置です。複数のイメージングプラットフォームを備えた高輝度イメージセンサを備えているため、さまざまな検査作業に最適です。このシステムは、ウェハリソグラフィおよびマスク検査における微細な欠陥の正確かつ正確な識別に特に適しています。クアッドCCDカラーセンサを搭載し、従来のマスク・ウエハ検査システムの10倍以上の解像度でカラーイメージをキャプチャできます。また、優れた輝度、解像度、彩度、ダイナミックレンジを提供する内蔵のDLPプロジェクション技術も組み込まれています。DLP技術は、卓越した均一性と一貫性を提供し、従来のシステムよりも優れた画質を提供します。Optistation VIIは、クリアでシャープな画像処理のための最先端の光学系も備えています。これは、光収差を排除するために高度な波面検出と補正技術を使用しています。これにより、ウエハ検査とマスク検査の両方で非常に細かい機能を検出できる超高シャープな光学機器が保証されます。このツールには、自動アライメント、欠陥レビュー、パターンマッチング、動的画像強化など、画像処理および分析ツールの包括的なスイートが含まれています。画像処理および分析ツールを使用して、ウェーハ検査とマスク検査の両方の欠陥を識別および分析できます。さらに、NIKON Optistation VIIには、オートフォーカス、3Dステッチ、高度な画像処理アルゴリズムなどの高度な機能も含まれています。また、統合された統計生成機能も備えており、各検査実行の結果を詳細に分析することができます。Optistation VIIは、マスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適なソリューションで、優れた性能と信頼性を提供します。ウェーハやリソグラフィ加工に使用される各種部品の検査・分析に効果的かつ効率的なモデルです。
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