中古 NIKON Optistation VII #293652861 を販売中

ID: 293652861
Wafer inspection system.
NIKON Optistation VIIは、半導体・液晶産業におけるリソグラフィ事業のニーズに合わせて設計されたマスク・ウエハ検査装置です。Optistation VIIは、さまざまな照明タイプのマルチビーム、マルチチャンネルソリューションを提供しています。これにより、1つのマスク基板から最大16の異なるマスク層および/または複数のショットを同時に検査できます。NIKONでは、用量感度、焦点感度、特殊投影などの様々なツールを提供しています。NIKON Optistation VIIは、高度な検出システムも提供します。解像度は従来の画像処理システムを上回り、特殊なアルゴリズムを使用せずに重大な欠陥を迅速に認識することができます。独自のAFM (Adaptive Fault Map)機能により、極めて低コントラストマスク基板の停滞および散発的な欠陥を検出できます。Optistation VIIの高速イーサネット通信回路は、ユニットからバックエンドへの高速転送データとイメージを容易にします。これにより、エンジニアは欠陥データを評価し、迅速に意思決定を行うことができます。この機能の追加の利点は、2人のオペレータのための共有マシンを可能にし、コストを削減し、操作を簡素化します。NIKON OAS (Orthogonal Alignment Model)という高度なアライメントアセットを備えており、基板に合わせて機器パラメータを自動調整することで、操作プロセスを簡素化します。これにより、検査間のセットアップ時間を最小限に抑え、最も困難な検査環境でも迅速なアライメントが可能になります。システムは、品質と安全性の最高水準を満たしながら、安定した信頼性の高いプラットフォームを提供するように設計されています。UL、 CE、 CSA認証を取得しており、スムーズな運用とワークフローを確保するために、幅広いソフトウェアおよびハードウェアインターフェイスが付属しています。NIKON Optistation VIIは、最も過酷な環境で費用対効果の高い検査ソリューションを提供します。単位の統合された環境制御は機械が安全、信頼でき、低い維持であることを保障します。高度な検出ツールとシンプルで自動化された操作により、Optistation VIIは最高品質の結果を提供し、スループットを最大化し、結果への時間を短縮します。
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