中古 NIKON Optistation VII #293645159 を販売中

NIKON Optistation VIIは、大量生産の要求に応えるために設計された先進的なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、2つの高解像度検出器を使用して、単一のデバイスで同時にウェーハとマスク検査を提供します。フロントサイド、バックサイド、オーバーレイなどウェーハの様々な層の光学欠陥検査やマスク欠陥に対応しています。その高度なPhoton Counting Detector技術は、優れた解像度を可能にし、小さな欠陥を検出し、欠陥のないマスクを生成することができます。Optistation VIIは、ブライトフィールド、位相収差検出器（PAD）、位相シフト欠陥（PSD）、位相シフトカメラ（PSC）モードなど、任意の検査タスクに4つの異なる光学システムを導入しています。ブライトフィールドユニットは、透過可視光を使用して、オペレータが欠陥を迅速かつ正確に識別および分析できるようにします。PADマシンは、近野光学顕微鏡を使用して位相開発を検出し、医師が位相異常を特定して修正することができます。PSDツールは、限られた光子制御を使用して検査中の位相シフトを正確に測定し、PSCアセットは位相データを収集してオブジェクトまたは表面積の測定に割り当てます。さらに、マスクパターンやウェーハ加工に特化した先進的な検査技術も提供しています。オートフォーカス（AF）機能は、顕微鏡の対物レンズ設定を自動的に調整し、可能な限り最高の画質を保証します。Hybrid Pulse PhaseテクノロジーはAF光学フォーカスをさらに支援しますが、Perpendicularity Correctionテクノロジーは、フォーカス設定に依存しないエッジが非常に正確に垂直であることを保証します。スプリッティングフォーカス技術は、視野の点を異なる方向に集中させることによって、より鮮明な画像を提供します。NIKON Optistation VIIは、検査作業を自動化し、高スループットを確保するスクリプト管理システムにより、完全な生産環境に拡張できる汎用性の高い機器です。また、人間工学に基づいたS-VGAモニターを搭載し、リアルタイムの検査結果を表示し、操作を容易にする直感的なGUIを備えています。また、両検出器から撮影した画像をオーバーレイするデュアル画像表示モードを搭載し、検査を容易にしています。Optistation VIIは、優れた柔軟性と幅広い先進技術を提供する信頼性の高い強力なマスクおよびウェーハ検査機です。堅牢な設計と汎用性の高い機能により、任意の検査タスクに対して正確で信頼性の高い結果が得られるため、大量の製造に最適です。