中古 NIKON Optistation VII #293592368 を販売中

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マスク＆ウェーハ検査
製造業者
NIKON
モデル
Optistation VII
ID: 293592368
Wafer defect inspection system, 12" (2) FOUP Front end load ports ASYST ISO Port FL300 with mapper and RF ID ULPA Filtration system Air suspension vibration isolation table Standard microscope unit with automated control Eyepieces: 10x Objective lens: 2.5x 0.075 W.D. 8.8 mm 10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm 20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm 50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm 150x N.A. 0.900 W D.0.29 mm Halogen lamp house: 12 V, 100 W Robot controller Ceramic robot arm Macro unit A: Wafer chuck Macro movable unit Slider assembly Macro unit B: Arched holder Rotation unit assembly Micro stage unit XY Stage / Chuck XYZ Drive unit DART Controller: Image archiving and defect review LCD Display Keyboard / Trackball Image capture board: Integral technologies video card SONY DXC- 9XX/MD Camera.
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NIKON Optistation VIIは、柔軟性に優れたハイスループットマスクとウェーハ検査装置で、マスクとウェーハの両方を迅速かつ自動的に検査できます。欠陥検出の精度に優れ、0。2〜0。8ミクロン程度のパターンを検出することができます。また、フォトマスク、リソグラフィックマスク、ウェーハなど、さまざまな材料を検査するための幅広い汎用性を提供しています。高速キセノンストロボ光源を使用してサンプルを照らし、CCDカメラで画像を撮影します。イメージングマシンは、可視光スペクトルをはるかに超えたサブミクロンの違いや信号を検出することができ、ツールは欠陥やサブミクロ構造を正確に検査することができます。4KピクセルCCDアレイにより、極めて微細な検査解像度を実現し、5xから2500xまでの強力な倍率機能を備えています。このモデルは12x12インチの大きな検査エリアを備えており、材料の密度の高い領域まで迅速かつ非破壊的にカバーすることができます。その一定の深さの焦点は、画像が一貫してシャープで明確であるように、全体的に高精度と一貫性を保証します。さらに、人間の関与を必要とせずに、機器は中断することなく自動スキャンと分析を実行できます。さらに、Optistation VIIには、自動機能検査用の高度なソフトウェアが搭載されています。粒子、欠陥、微細な欠陥、および不規則性を検出する強力な欠陥検出エンジンを備えています。このソフトウェアには強力なプログラミング機能も搭載されており、複数の機能を検査するための自動シーケンスを作成できます。NIKON Optistation VIIは、マスクとウェーハの両方の自動、信頼性、高精度の検査を提供するように設計されています。幅広い汎用性、高度なソフトウェア機能、および優れた精度により、高精度を必要とする検査アプリケーションに最適です。
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