中古 NIKON Optistation V #9236761 を販売中
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NIKON Optistation Vは、微細構造の小型部品の測定を可能にする高精度マスクおよびウェーハ検査装置です。ニコンの最先端技術を融合させ、高精度・高精度な測定を実現します。3D測定とハイスループット検査の両方が可能です。NIKON OPTISTATION-Vは、半自動8 ウェイXY測定段を備えた硬質光学カラムと、高度な精密オートメーション機能を備えた小型ベンチトップレーザー干渉計ユニットで構成されています。光学カラムは、環境振動を最小限に抑え、ウェーハアライメントのパフォーマンスを最大化するように設計されています。アクティブスタビライゼーション技術を使用して、すべての測定で高精度と再現性を保証します。高度なレーザー干渉計マシンは、ウェーハ表面から撮影された光学画像からわずかな角度と線形の変位を検出します。100分の1ミクロンの3Dプロファイルデータをすばやく取得し、非接触スキャンモードで± 0。4 μ mの高精度を実現します。これにより、パターン構造の最小の特徴を高い精度で検査することができます。さらに、このツールは、レーザー光源とレンズの様々なレーザー投影アセットを備えています。これにより、複雑な3次元ジオメトリを持つ形状をウェーハ表面に正しく投影することができます。Optistation Vは、フラットパネルディスプレイ、ウェハレベル光学、および化合物半導体製造、およびその他の用途に最適です。最高レベルの精度、再現性、およびスループットを提供するように設計されており、優れた検査結果を保証します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、操作が簡単になり、プロユーザーに人気があります。この最先端のマスクとウェーハ検査モデルは、業界のエンジニアやデザイナーにこれまでにない精度、性能、信頼性を提供します。
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