中古 NIKON Optistation V #293758111 を販売中

NIKON Optistation V
ID: 293758111
Inspection systems.
NIKON Optistation Vは、半導体レイアウトやその他の部品を迅速かつ正確に分析するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高解像度のダイレクトビュー光学システムを採用しており、パーティクルフリーマスクやウェーハ表面の各種機能を高精度に測定できます。NIKON OPTISTATION-Vは、ブライトフィールド、ダークフィールド、マルチアングルオプティクスを使用して、微細なパターンの不規則性、粒子、およびウェーハ上のマスクのずれから発生するような、最高の欠陥を検出することができます。このユニットには、前面、断面、背面、要素画像などのいくつかの画像キャプチャモードもあり、欠陥や特徴解析を支援します。さらに、リモートコラボレーションのための統合されたマルチパーソンプラットフォームは、グローバルワークフローのブレークスルーを提供します。Optistation Vは、優れた欠陥とプロセス制御のための複数の、電動化された、自動化されたマッピングステージを提供します。これにより、簡単な精度測定から複雑な3D分散マッピングまで、幅広いマッピング機能が可能になります。さらに、製造プロセス中の加熱や冷却など、ウェハ環境の重要な変化を観察するためのリアルタイムウェハーマップ機能を提供します。OPTISTATION-Vには、統合された電気顕微鏡、顕微鏡照明ツール、さまざまな専門レンズなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。これらはすべて、充填されていない空隙、あざ、亀裂を検査したり、マスク表面に粒子を発見するために使用することができます。また、NIKON独自の「NIKON Operability Model」を搭載し、データ管理の合理化を図り、生データと最終結果の効率的な処理を実現しています。また、NIKON Optistation Vはさまざまなソフトウェアオプションやサードパーティの機器とも互換性があり、ユーザーはワークフローをカスタマイズしてリアルタイムでデータを分析することができます。全体として、NIKON OPTISTATION-Vは、高度で信頼性が高く、高効率なマスクおよびウェーハ検査装置であり、さまざまな操作、研究、生産要件に適しています。
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