中古 NIKON Optistation III #293681125 を販売中

NIKON Optistation III
ID: 293681125
ヴィンテージ: 1994
Wafer inspection system 1994 vintage.
NIKON Optistation IIIは、半導体製造用に設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な光学系と自動パターンマッチングアルゴリズムを使用して、最も要求の厳しいウェーハまたはマスクの欠陥を検出します。強力な高解像度画像取得ユニットと統合計測ツールを備えています。この機械は、半導体ウェーハおよびフォトマスクの表面層の特徴を測定および検査するように設計されています。統合された自動パターンマッチング(APM)アルゴリズムは、超高解像度でフルフィールドウェーハ検査を実行できます。欠陥、テクスチャ、傷、ボイド、オーバーレイ精度などの異常を検出および測定することができます。このツールには、テレセントリックレンズ、フィールド全体の照明、フルフィールドイメージングなど、最先端の光学システムが含まれています。NIKON OPTISTATION-IIIは、大量のウェーハをフルスピードで素早くスキャンできる完全自動化アセットです。高解像度の明るいフィールドと暗いフィールドのイメージング、高度なAPMアルゴリズムにより、高収率の欠陥検出と正確な計測が可能です。このモデルは、高いスループット、精度、柔軟性を提供し、検査および計測要件をカスタマイズすることができます。多機能ロボットハンドラー、およびロボット抵抗および紫外線(UV)のクリーニングモジュールは装置に継ぎ目が無く統合することができます。操作を容易にするために、Optistation IIIにはグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)とボタンインターフェイスシステムが付属しており、検査設定にすばやくアクセスして管理することができます。大型のタッチスクリーンディスプレイとシンプルで直感的なナビゲーションにより、ユニットの操作を簡単に設定、プログラム、および監視できます。さらに、詳細な検査レポートの結果は、品質管理プロセスを容易にし、半導体製造プロセスの全体的な信頼性を向上させるのに役立ちます。OPTISTATION-IIIは、高品質の半導体製品を製造するための強力なツールです。高度な光学および高速計測により、迅速で正確な検査結果を提供することで時間とコストを節約でき、欠陥が少なくなり、歩留まりが改善されます。
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