中古 NIKON Optistation III #293629231 を販売中

NIKON Optistation III
ID: 293629231
Microscope.
NIKON Optistation IIIは、半導体業界で使用するために設計されたハイエンドマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクおよびウェーハ検査用の包括的な測定および分析機能を提供し、1時間あたり最大250ウェーハで動作できます。高速スキャナ、イメージプロセッサ、イメージアナライザ、高精度の計測ステーションなどの完全自動化された機器を備えています。このシステムは、高精度のオーバーレイおよびウェーハ測定機、完全自動化された欠陥解析、および報告システムを含む完全なプロセス制御ユニットを提供します。NIKON OPTISTATION-IIIは、高解像度CCDセンサーとズームレンズを搭載した先進的な光学イメージングツールをベースにしています。CCDセンサーは、マスクまたはウェーハの微細な画像を1秒未満でキャプチャすることができます。ズームレンズのモデルは、5 μ m程度の特徴を正確に解析することができ、非常に小さな欠陥を検出することができます。Optistation IIIには、マスクおよびウェーハイメージの自動解析と分類を可能にするソフトウェアも含まれています。OPTISTATION-IIIはまた、高精度のオーバーレイおよびウェーハ測定装置を提供します。検査後のマスクやウェーハのパターンを正確に測定することができ、位置やサイズの変化を検知することができます。また、測定パターンを正確に3D解析できる高度な計測ソフトウェアを搭載しています。このソフトウェアは、検査結果を分析および比較するための包括的なレポートツールも提供します。NIKON Optistation IIIは、自動欠陥解析機能も提供します。この機能は、さまざまなタイプの欠陥を自動的にマスクやウェーハを検査し、それらに関する詳細な情報を提供することができます。このマシンには、手動測定、手動欠陥分類、重大欠陥レビューなど、さまざまな手動解析機能も含まれています。最後に、NIKON OPTISTATION-IIIは、半導体業界のユーザーに包括的な機能を提供します。マスクやウエハーの迅速かつ正確な検査を可能にし、詳細な分析と報告を行います。このツールには、高精度のオーバーレイおよびウェーハ測定アセット、自動欠陥解析、手動解析機能も含まれています。これらのすべての機能は、高品質の検査を確実にし、Optistation IIIをマスクおよびウェハ検査に最適な選択肢にします。
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