中古 NIKON OPTISTATION 7 #9234683 を販売中
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ID: 9234683
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Wafer inspection system, 12"
Cassette type: FOUP 25 Wafer
Chuck materials: PEEK
Transfer robot
Optical system: BF/DF
Auto forces function
Remote operation: Magnification changer, BF/DF changer, AS, FS
Microscope stage pre-alignment accuracy:
Eccentricity: 3σ ≤ 35µm
Attitude angle: 3σ ≤ 2°
Optical system: Infinity optical
Objective lens: BF/DF Observed BD-PLM 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
Eyepiece lens: CFUWN 10x (F.N.25)
Observation tube: Super wide field trinocular tilt observation tube UWTT
Eyepiece angle: 10° to 30°
Motorized revolving nosepiece: Quintuple for BF/DF
Microscope illumination: 12 V, 100 W Halogen lamp
Throughput:
Macro-inspection (2 Sec)
Cassette all point ≤ 6 min 30 sec
Micro-inspection (5-Points, per 1 sec) ≤ 10 min
Auto-focus:
Detective method: LED Illumination slit projection AF
Illumination source LED: Wavelength 770 nm
Observed method: BF/DF
Eyepiece lens: 10x-150x
Stage:
X-Y Stage:
Observed area, 12"
θ Rotation: Rotating angle: 3.5°
Pre-alignment type: Non-contact pre-alignment
Eccentricity: 3σ ≤ 35µm (X,Y)
Attitude angle: 3σ ≤ 2°
Arm type: Belt drive
FOUP (Load port):
ASYST FL300S3 Side loading type port
SEMI (E-15-1) Standard
Alignment load wafer
Illumination source: LED 910 nm
Detector: Photo-transistor (PT)
Eccentricity: Macro-stage ≤ ± 1.5 mm
Macro stage
Surface macro
Auto drive
Tilt angle: Infinity
Speed: ≤ 15 RPM
Angle: -90° to -120°
Special halogen lamp L1L-100
Backside macro: 15 V, 100 W Halogen lamp (Fiber illumination type)
2007 vintage.
NIKON OPTISTATION 7は、高精度の光学機器と高度な自動化機能を必要とするメーカー向けに設計されたハイエンドの自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、欠陥検査、プロセス評価、歩留まり予測に重点を置いた高分解能イメージングおよび精密測定機能を提供します。このユニットは、サンプルの積み下ろしを容易にするための高度な自動ステージを備えています。フーリエ、エッジ、ブロードバンド輪郭、シェーディング検査などのクワッド検出器の構成により、検査プロセスで最高の精度と効率を保証します。また、効率的な画像処理と高性能解析のための強化されたソフトウェアを備えています。NIKON OPTISTATION-7は、最大16メガピクセルの高解像度カメラと最大5133dpiの画像解像度を備えており、高精度かつ高精度な測定が可能です。また、調節可能なLED照明ツールを備えており、透明、回折、および拡散ウエハサンプルを検査することができます。OPTISTATION 7は、検査プロセスを合理化する、ユーザーフレンドリーで直感的なツールのセットを採用しています。露光時間、光強度、フォーカスなどのパラメータをカスタマイズして、各サンプルが指定された基準を満たしていることを確認できます。OPTISTATION-7はまた、高度なメンテナンスオプションとユニバーサルプログラミングAPIを使用して、ダウンタイムを最小限に抑えます。このアセットは、最大4つの部品を同時に検査するために自動スクリプトを実行することができ、ネットワーク可能なインターフェースを介して他のメーカーの検査システムと統合することができます。NIKON OPTISTATION 7は、製造メーカーが信頼性の高い性能のためにハイエンド製品を自信を持って検査することを可能にする、リソグラフィとプロセス駆動の両方の欠陥のための信頼性の高い機器です。ユーザーフレンドリーなインターフェース、高度なオートメーション機能、高解像度イメージング技術により、信頼性の高い一貫した結果を提供します。
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