中古 NIKON OPTISTATION 7 #9234683 を販売中

ID: 9234683
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Wafer inspection system, 12" Cassette type: FOUP 25 Wafer Chuck materials: PEEK Transfer robot Optical system: BF/DF Auto forces function Remote operation: Magnification changer, BF/DF changer, AS, FS Microscope stage pre-alignment accuracy: Eccentricity: 3σ ≤ 35µm Attitude angle: 3σ ≤ 2° Optical system: Infinity optical Objective lens: BF/DF Observed BD-PLM 5x, 10x, 20x, 50x, 100x Eyepiece lens: CFUWN 10x (F.N.25) Observation tube: Super wide field trinocular tilt observation tube UWTT Eyepiece angle: 10° to 30° Motorized revolving nosepiece: Quintuple for BF/DF Microscope illumination: 12 V, 100 W Halogen lamp Throughput: Macro-inspection (2 Sec) Cassette all point ≤ 6 min 30 sec Micro-inspection (5-Points, per 1 sec) ≤ 10 min Auto-focus: Detective method: LED Illumination slit projection AF Illumination source LED: Wavelength 770 nm Observed method: BF/DF Eyepiece lens: 10x-150x Stage: X-Y Stage: Observed area, 12" θ Rotation: Rotating angle: 3.5° Pre-alignment type: Non-contact pre-alignment Eccentricity: 3σ ≤ 35µm (X,Y) Attitude angle: 3σ ≤ 2° Arm type: Belt drive FOUP (Load port): ASYST FL300S3 Side loading type port SEMI (E-15-1) Standard Alignment load wafer Illumination source: LED 910 nm Detector: Photo-transistor (PT) Eccentricity: Macro-stage ≤ ± 1.5 mm Macro stage Surface macro Auto drive Tilt angle: Infinity Speed: ≤ 15 RPM Angle: -90° to -120° Special halogen lamp L1L-100 Backside macro: 15 V, 100 W Halogen lamp (Fiber illumination type) 2007 vintage.
NIKON OPTISTATION 7は、高精度の光学機器と高度な自動化機能を必要とするメーカー向けに設計されたハイエンドの自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、欠陥検査、プロセス評価、歩留まり予測に重点を置いた高分解能イメージングおよび精密測定機能を提供します。このユニットは、サンプルの積み下ろしを容易にするための高度な自動ステージを備えています。フーリエ、エッジ、ブロードバンド輪郭、シェーディング検査などのクワッド検出器の構成により、検査プロセスで最高の精度と効率を保証します。また、効率的な画像処理と高性能解析のための強化されたソフトウェアを備えています。NIKON OPTISTATION-7は、最大16メガピクセルの高解像度カメラと最大5133dpiの画像解像度を備えており、高精度かつ高精度な測定が可能です。また、調節可能なLED照明ツールを備えており、透明、回折、および拡散ウエハサンプルを検査することができます。OPTISTATION 7は、検査プロセスを合理化する、ユーザーフレンドリーで直感的なツールのセットを採用しています。露光時間、光強度、フォーカスなどのパラメータをカスタマイズして、各サンプルが指定された基準を満たしていることを確認できます。OPTISTATION-7はまた、高度なメンテナンスオプションとユニバーサルプログラミングAPIを使用して、ダウンタイムを最小限に抑えます。このアセットは、最大4つの部品を同時に検査するために自動スクリプトを実行することができ、ネットワーク可能なインターフェースを介して他のメーカーの検査システムと統合することができます。NIKON OPTISTATION 7は、製造メーカーが信頼性の高い性能のためにハイエンド製品を自信を持って検査することを可能にする、リソグラフィとプロセス駆動の両方の欠陥のための信頼性の高い機器です。ユーザーフレンドリーなインターフェース、高度なオートメーション機能、高解像度イメージング技術により、信頼性の高い一貫した結果を提供します。
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