中古 NIKON Optistation 3A #9115822 を販売中

NIKON Optistation 3Aは、製造メーカーがウェーハやマスクの歩留まり制限欠陥を特定できるように設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。高倍率光学顕微鏡、最先端デジタルイメージングユニット、高精度モーションコントロールマシン、高度な欠陥検出・識別ソフトウェアプログラムなど、さまざまな技術を組み合わせた機器システムです。NIKON OPTISTATION 3 Aの顕微鏡ツールは、6：1ズーム比の縦方向ズーム方式を採用しており、ウェーハやマスクをサブミクロンからナノ分解能まで表示することができます。顕微鏡光学は最高の明るさおよび適用柔軟性を提供するために調節することができます。アセットはまた、0.3Xの倍率範囲を8500Xすることができます。光学イメージングモデルは、高解像度カメラを使用して、最大13メガピクセルの解像度で標本の詳細な画像をキャプチャします。Optistation 3Aのモーションコントロール装置は、3軸XYZモーションステージとステッピングモーターで構成され、正確なステップアンドリピート動作を実現します。フルフィールドマルチポイント測定、パターンインスペクション、フォーカス調整など、困難な自動操作を実行できます。このシステムにより、光学系の動きを素早く正確に制御することができます。OPTISTATION 3 Aには、高度な欠陥レビューソフトウェアプログラムも含まれています。このプログラムは、パターンマッチングとニューラルネットワークベースの欠陥検出の両方をサポートしています。また、タイプ、サイズ、位置、およびその他の特性などの検出された欠陥についての詳細な情報も提供します。さらに、プロセスの品質を確保するために詳細な統計分析を行うために使用することができます。全体的に、NIKON Optistation 3Aは、高度なマスクおよびウェーハ検査ユニットであり、サンプルの詳細、精密、迅速な検査を可能にします。さまざまな技術を取り入れ、優れた画質で高精度検査を実現しています。さらに、その高度な欠陥検出とレビューソフトウェアは、迅速かつ信頼性の高い欠陥識別と品質プロセスのパフォーマンスの詳細な分析を提供します。