中古 NIKON Optistation 3A #293821817 を販売中

ID: 293821817
ウェーハサイズ: 8"
Wafer Inspection system, 8".
NIKON Optistation 3Aは、高精度で最先端のマスクとウェーハ検査装置です。信頼性、精度、持続時間を考慮して設計されており、あらゆる種類のフォトマスクおよびウェハアプリケーションに対応する検査機能の完全なスイートを提供します。直感的な直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えた、自動化されたユーザーフレンドリーな検査を提供します。マスク欠陥認識用の高解像度イメージングやファインパターン検査、2次元(2D)および3次元(3D)ウェーハ表面測定などの機能を備えています。NIKON OPTISTATION 3は、安定性と精度を向上させる高度なビームデリバリーシステムを備えています。統合された自動光学アライメントおよびオートフォーカス・システムにより、セットアップ時間が短縮され、画像の精度が向上します。また、環境要因による光学エネルギー分散や画像ドリフトを防止する窒素パージチャンバーを搭載しています。このマシンは、さまざまなイメージング技術を備えており、マスクパターンの忠実度、欠陥、変形を0。5ミクロンまで監視します。コンタクトホール、ロジックゲート、回路、特定の領域など、さまざまなパターンの自動グローバル検査を提供します。さらに、データ比較ソフトウェアは、正確な測定を保証し、フォトマスクの不一致を検出します。このツールは、最大10個の検査レシピと顕微鏡のオートフォーカス機能を保存することができ、マスクごとに手動でフォーカスを設定する必要がありません。統合されたシームレスなレシピ変更サポートにより、Optistation 3Aは45秒未満の迅速なウェーハ変更時間を提供します。全体として、OPTISTATION 3 Aは高度なイメージング機能を備えた高度で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査資産です。NIKON Optistation 3Aは、ユーザーフレンドリーなインターフェース、統合ビーム配信モデル、高度な画像認識ソフトウェアを備え、自動マスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適なソリューションです。
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