中古 NIKON Optistation 3100 #293807059 を販売中
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NIKON Optistation 3100は、マイクロエレクトロニクス部品の全体的な品質を向上させるために設計されたマスク&ウエハ検査装置です。精密光学系、高度なソフトウェア、最適化されたハードウェアの独自の組み合わせにより、フラットパターンの効率的な検査と分析が可能です。NIKON OPTISTATION-3100は、最高解像度のイメージングを実現するための優れた画像透明性、検出、プロセスオートメーションを提供します。Optistation 3100は、反転光学ユニットを使用してクリーンで鮮明な画像を提供する高性能光学システムを備えています。電動ズームレンズ、2次元XYステージ、光学特性を簡単に調整できるレーザーオートフォーカスツールを採用しています。この光学系の組み合わせにより、最大光学資産倍率は2000x、画像サイズは最大256ミクロンとなります。OPTISTATION-3100には、25ナノメートル以下の欠陥を検出できる高度なイメージングソフトウェアパッケージも含まれています。NIKON Optistation 3100は、手動ステージと自動ステージの両方を提供することにより、その機能に大きな柔軟性を提供します。マニュアルステージは、簡単なカメラ調整とウェーハの高速ロードを可能にします。自動化されたステージは、欠陥解析と画像取得のためにプログラムすることができ、オペレータの必要性を排除します。自動化されたステージには、スポットサイズ、イメージサイズ、ステージ上のウェーハの配置、および顕微鏡のステージ位置の4つの調整可能な4ウェイパラメータが付属しています。NIKON OPTISTATION-3100のこの特徴は、複雑で複雑なパターンの検査に最適です。Optistation 3100は、高品質の画像キャプチャを提供する高解像度CCDカメラを備えています。カメラは、検査、分析、データ管理のためのツールを提供するOptistationの高度なソフトウェアプラットフォームに接続されています。このソフトウェアは完全にカスタマイズ可能で、ユーザーは各ウエハを検査するためのパラメータと閾値を指定できます。OPTISTATION-3100は、緊急停止モデル、調整可能なフットスイッチ、光学機器の安全カバーなど、安全を念頭に置いて設計されています。装置は使いやすく、最低限のオペレータートレーニングが必要です。忙しいラボや生産環境の厳しさに耐えるように設計されています。NIKON Optistation 3100は、マスク、ウェーハ、ボンド集積回路の検査に最適です。
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