中古 NIKON Optistation 3100 #293587009 を販売中

NIKON Optistation 3100は、サブミクロン技術のための高精度の自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、広い作業エリア、正確な回転ステージ、およびさまざまなオプションの品質保証サポートを備えています。ICメーカー、半導体設計会社、試験・検査ラボの要件を満たすように設計されています。NIKON OPTISTATION-3100は、最先端の照明技術とイメージング技術により、ウェーハとマスクの両方を非常に高い精度で検査することができ、最も厳格なデバイスとコンポーネント要件を満たすことができます。Optistation 3100は、高解像度の長時間作動距離計測顕微鏡を搭載しており、合計8軸の動作を備えており、2次元および3次元の両方の設定で幅広いマスクおよびウェーハパターンを検査することができます。それに200mm x 200mmの視野の0。005mmのスキャンの決断が、あります。その強力な照明エンジンとともに、モーションステージは正確で反復可能な動きをすることができ、マスクの形状とエッジプロファイルをサブミクロンレベルまで正確に測定することができます。OPTISTATION-3100はNIKONの革新的なイメージングおよび分析ソフトウェアによって制御されます。このユニットは、鮮明で高解像度の画像で、ほぼすべてのタイプの欠陥を視覚化することができます。さらに、オーバーレイ、クリティカル寸法、欠陥レビュー、自動補正、登録、および複数の測定機能などの変数を含む強力な分析ツールを備えています。これにより、ユーザーは画像を異なるグループまたはタイプに分類してソートし、効果的または自動的に関心のある領域をターゲットにし、合格/失敗の基準について自動的に決定することができます。NIKON Optistation 3100は、イメージング機能に加えて、高度な機能テストとパターンシミュレーションプロセスを備えています。欠落した交差点、オーバーハング、エッジ損失、迷路など、さまざまな種類の欠陥を検出できます。マシンは、定義済みのルールに基づいてパターンを模倣/モデルパターンすることもできます。これは、さらなる比較のための参照パターンとして使用することができます。また、NIKON OPTISTATION-3100には自動アライメントツールが搭載されており、その後の検査を正確に行うことができます。直感的なユーザーインターフェイスと汎用性の高い校正方法により、セットアップ、転送、操作がさらに簡素化されます。結論として、Optistation 3100は高精度のマスクおよびウェーハの点検のための理想的な選択です。最先端のイメージングおよび解析機能により、信頼性の高い欠陥検出とデバイスの適合性を保証します。