中古 NIKON Optistation 3000 #9372005 を販売中

NIKON Optistation 3000は、次世代半導体製品の高精度、高スループット生産を目指して設計された全自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高性能な目的と、可視光および赤外線感受性光センサーの両方からなる高度な光学イメージングユニットを備えています。Optistation 3000は、独自のプロセス制御マシン、正確な位置決め、自動化されたエッジ検出アルゴリズムを使用して、ウェーハとマスクの正確で高速な自動検査を保証します。NIKON Optistation 3000の中心には、精密な3Dスキャンツールと高度なソフトウェアアルゴリズムがあります。大口径対物レンズ、高性能ポジショナー、高度なソフトウェアルーチンを使用して、Optistation 3000は、ナノメートルスケールの順序で非常に小さな局所欠陥だけでなく、広域欠陥を検出し、測定することができます。Edge Searcherを含む2Dおよび3D Edge Findにより、NIKON Optistation 3000はウェーハまたはマスクのエッジを自動的に見つけ、それに応じて検査パスを実行します。Optistation 3000には独自のカスタム偏光モジュールが搭載されており、精密な光学特性評価、測定、欠陥検出が可能です。同様に、このアセットには、サンプル表面で検出された垂直方向の高さの差に基づいてフォーカスを常に監視および調整できる統合フォーカストラッキングモデルが装備されています。また、NIKON Optistation 3000は、詳細な検査結果、製造、プロセス、オペレータ、ロットID情報を保存して文書化する高度な監査トレイルライブラリを通じて、完全なトレーサビリティを提供します。さらに、オプションでサンプルオーバーレイマップの検査やOSMLマスクフォーカス値の検査を行うための高品質のリニアリティ測定パッケージを提供します。要するに、Optistation 3000は、高精度で高スループットの生産環境を実現する強力で信頼性の高い自動マスクおよびウェーハ検査システムです。大口径対物レンズ、高度な光学イメージングと偏光ユニット、独自のプロセス制御アルゴリズムにより、NIKON Optistation 3000は正確で信頼性の高い性能を提供します。