中古 NIKON Optistation 3000 #9300983 を販売中

NIKON Optistation 3000は、高度なコンピューティングベースの半自動マスクおよびウェーハ検査装置です。オペレータの介入を最小限に抑え、高速シングルウェーハおよびマスク検査を行うように設計されています。このシステムは、電子ビームイメージング技術と高度なアルゴリズムを使用して、表面欠陥と内部欠陥の両方を検査します。Optistation 3000ユニットは、わずか数秒でフルチップ粒子検査を行うことができ、1台のマシンでベアウェーハ、薄型ウェーハ、フォトマスク基板の検査に最適です。NIKON Optistation 3000ツールは、大型真空チャンバーを使用して、検査中の継続的で安定した環境を維持します。これにより、外部障害のない非常に正確で再現性の高いスキャンプロセスが実現します。このアセットには、デジタルスキャンコントローラと2軸電動モデルが組み込まれており、検査プロセスを非常に正確に制御できます。Optistation 3000は、高分解能電子銃と高純度光学装置を備えた、ペアリングされた電子光学カラムで構成されています。このセットアップは、非常に高解像度の画像とサブミクロメートルレベルの画像解像度を提供することができます。このシステムには、画像処理タスクを処理する最先端のデジタル信号プロセッサも含まれています。この高精度光学、高解像度イメージング、高度な信号処理の組み合わせにより、NIKON Optistation 3000はウェーハやマスク材料の微妙な違いを検出することができます。このユニットには、簡単なセットアップと操作のための複数の自動検査プログラムが含まれています。これらのプログラムを使用して、ユーザーはすぐにカスタマイズされた検査プロトコルをセットアップし、機械に自動的にタスクを実行させることができます。これにより、手動による介入が不要となり、高精度で信頼性の高い結果が得られます。検査精度をさらに向上させるために、Optistation 3000には走査型電子顕微鏡も含まれています。この顕微鏡は、検査された材料の高品質なイメージングを可能にするために、ツール内に統合されました。この顕微鏡は、検査された材料のすべての成分と物理的特性の詳細な画像を提供し、より正確な欠陥検出を可能にします。最後に、NIKON Optistation 3000は直感的なユーザーインターフェイスを備えています。このUIにより、複数の検査プロトコル、高度な画像操作、およびカスタム障害検出アルゴリズムを統合できます。これにより、ユーザーは特定の検査ニーズに素早く簡単にアセットを調整できます。