中古 NIKON Optistation 3 #9386051 を販売中

NIKON Optistation 3
ID: 9386051
Wafer inspection system.
NIKON Optistation 3は、半導体産業の品質と生産プロセスを監視するために設計された先進的なマスクおよびウェーハ検査装置です。この完全に自動化されたプラットフォームは、パターン化されたウェーハとマスクの静的および動的な検査を、最高の精度と精度で高速で行うことができます。NIKON OPTISTATION-3は、配列検査のための自動検査(A/I)、切断のための裏面検査、3Dプロファイリング、トップダウン検査など、ハイエンドの画像・検出技術を数多く活用しています。優れた解像度のスキャンアームと最新のセンサーにより、オプションの欠陥検査が可能で、一部のモデルでは1nmの解像度を提供しています。プラットフォームはPOLIS (Picture-Optimized Logic Inspection System)と組み合わされており、検査プロセスをナビゲートし、発生する可能性のある矛盾を迅速に特定するのに役立ちます。POLISでは、さまざまな画像アルゴリズムで検証できる豊富なルールを使用して、検査パラメータをカスタマイズすることもできます。また、ランタイム解析機を内蔵しており、リアルタイムで検査条件を確認・最適化することができます。柔軟性と使いやすさを高めるために、Optistationには0。28 インチSLR(シングルレンズ反射)カメラが搭載されています。これにより、インスタンスごとにさまざまな角度や視点を選択し、最小の微小欠陥でも欠陥を探すことができます。また、G2とデュアルコントラスト検査技術を搭載し、微細な欠陥の形状とサイズを認識し、微細な改善を可能にします。さらに、Optistation 3には、運用のダウンタイムを削減するいくつかの機能があります。AutoFocusとAutoMapping機能により、検査全体の経過とまったく同じ位置にウェーハを揃えることができ、AutoCalibrationにより、複数のセッションでツールの解像度と倍率が正確に維持されます。結論として、OPTISTATION-3は使いやすいながら優れた柔軟性、精度、性能を提供する洗練された信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査資産です。先進的な光学、検出、オートメーション機能により、高品質の検査結果と生産の迅速な納期を保証し、効率的な半導体製造と製造を可能にします。
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