中古 NIKON Optistation 3 #9171326 を販売中

NIKON Optistation 3は、最先端の電子マスクとウェーハ検査装置です。要求の厳しい半導体ICの光学検査に必要な高精度、高速、データ精度をユーザーに提供するように設計されています。このシステムは完全に自動化されたマスクまたはウェーハアライメントツールで、± 1 μ mの単位精度で、高精度のイメージングとマスクおよびウェーハ機能の詳細な測定を提供します。様々な光学検査に適した幅広い機能を備えています。NIKON OPTISTATION-3は、新たに高精度12 インチCCDカメラを搭載し、最大1000x倍率、最大6。3mmの視野を微細精度で提供します。3軸モータ操作機と、0.5X〜1000Xの間で調整可能な倍率出力用の制御ツールを備えています。また、高解像度画像の露光時間は20秒です。CCDカメラの安定性は、要求の厳しい操作に最適な重要な機能の1つです。Optistation 3は、3つの同時電子ビーム検査モードを備えたさまざまな検査機能も提供しています。回路パターンを検査するためのスポット検査、ウェハ構造を検査するためのグローバルな表面検査、検査範囲を広げるための周辺フィールド検査などがあります。また、複数のレイヤーのしっかりとマスクされたパターンを比較するためのイメージオーバーレイ機能も提供します。マスクおよびウェーハ検査の精度を最大限に高めるために、OPTISTATION-3は統合された衝突防止、正確なフィールドマッチング、およびオートフォーカス調整機能を備えています。特に、統合された衝突防止機能は、光学系と検査対象との衝突を回避することにより、より高い精度と誤ったデータを排除することができます。NIKON Optistation 3は、検査業務の精度と効率をさらに向上させるために、フル機能を備えた最適化されたデータ取得および分析アセットを備えています。また、さまざまなデータ分析を実行し、データレポートを生成することができます。最後に、NIKON OPTISTATION-3は非常に耐久性の高いモデルです。この装置は、長時間にわたって安定して信頼できるように設計されており、連続運転に最適です。