中古 NIKON Optistation 1A #9111520 を販売中

NIKON OptiStat 1Aマスク&ウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハパターンを効率的に光学解析するための完全なソリューションを提供するために設計された画期的な統合システムです。この包括的なマスク検査ユニットは、高度な光学技術を使用して、自動検査と手動検査の両方の機能を提供します。OptiStat 1Aには、3X光学ズームを備えた300mm × 200mm視野広視野顕微鏡、および最適化されたイメージングのために500Xまでの視野と均一な倍率の横方向の移動を可能にするF-Theta-Zoomレンズが含まれています。また、高解像度のマルチスペクトルイメージングチャネルを内蔵し、重要な欠陥を正確に特定します。OptiStat 1Aツールは、自動焦点と微調整、内蔵の画像堅牢性フィルタ、多目的でクロスデプスなフィールド解析などの包括的な検査機能を提供し、最適化された画像を迅速かつ正確に取得および分析できます。NIKONの高度な測定、分析、およびレビューアルゴリズムにより、線のエッジの粗さ、線の幅の変化、プロファイル、線の幅の精度などの機能を正確かつ信頼性の高い評価が可能になります。また、本資産の完全自動化されたPoint&Click欠陥識別機能により、欠陥の検出が容易になり、リソグラフィ品質保証業務に適しています。NIKON OptiStat 1Aモデルは、最先端の光学系と強化されたイメージング技術を統合し、マスクおよびウェハパターンの検査および評価アプリケーションに最適な結果を提供します。装置の高度な画像処理機能、柔軟なソフトウェアアーキテクチャ、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーはマスクやウェーハパターンを検査する際に、より完全な制御と精度を提供します。さらに、システムのハイスループット設計により、大量のマスクおよびウェーハパターンを迅速かつ効率的に分析できます。NIKON OptiStat 1Aは、マスクやウエハーパターンの検査・分析において、可能な限り最高の製造品質を保証するために不可欠なツールです。これは、研究と生産レベルの検査要件の両方に最適な汎用性と包括的なユニットです。さらに、マシンの包括的な設計とユーザーフレンドリーな操作により、迅速で信頼性の高い評価と正確な欠陥検出を必要とするユーザーに最適です。